四極質(zhì)譜計校準技術(shù)發(fā)展現狀

四極質(zhì)譜計校準技術(shù)發(fā)展現狀

任國華， 張滌新， 趙瀾

(蘭州空間技術(shù)物理研究所，甘肅 蘭州 730000)

　　摘要：作為殘余氣體分析器和分壓力測量的主要儀器，四極質(zhì)譜計的使用越來(lái)越引起重視，使得其校準技術(shù)研究成為真空計量領(lǐng)域的一個(gè)熱點(diǎn)問(wèn)題。

　　本文將從最初美國真空學(xué)會(huì )推薦的四種四極質(zhì)譜計校準方法開(kāi)始，討論研究美國國家標準技術(shù)研究院(NIST)、德國聯(lián)邦物理研究院(PTB)、意大利國家計量研究院(IGMC)、日本國家工業(yè)科學(xué)技術(shù)研究院(AIST)直到我國的清華大學(xué)和蘭州空間技術(shù)物理研究所在四極質(zhì)譜計校準技術(shù)方面的研究成果，分析這幾個(gè)實(shí)驗室方法的優(yōu)缺點(diǎn)，為國內外同行提供參考。