靜態(tài)膨脹校準低真空計方法
2020-05-06 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理
1910年克努曾最早提出靜態(tài)膨脹法壓力校準系統。靜態(tài)膨脹校準低真空計時(shí)，因為容器壁吸、放氣不顯著(zhù)，校準精度較高。在高真空校準時(shí)，由于器壁吸、放氣顯著(zhù)，必須設法減小其影響。此方法制作簡(jiǎn)單、操作方便、運算迅速、檢定效率高，且排除了汞蒸氣對人的危害。
膨脹法校準是基于波意耳定律，即在恒定的溫度下，一定質(zhì)量的氣體的壓力與體積之積為一常數。
圖29：?jiǎn)渭壟蛎浵到y工作示意圖
單級膨脹系統工作示意圖見(jiàn)圖29所示。首先將氣源室中充有需要壓力為p1的校準氣體，由標準真空計G2測量。再將校準室抽氣至低于校準壓力下限兩至三個(gè)數量級。這樣可略去校準室本底壓力對校準的影響。
每操作一次傳遞閥K4，就將由氣源室中的壓力為p1容積為傳遞容積Vs的氣體輸送到校準室。第一次膨脹后，校準室壓力見(jiàn)式27。
第n次膨脹之后，校準室的壓力pn見(jiàn)式28。
此法計算簡(jiǎn)單，如校準高真空可用雙級膨脹。
