真空計校方法準概述
真空計校準是真空測量的基礎，是研究和發(fā)展真空測量的有力工具。它不但能使已有的相對真空計統一在可靠的標準之下，而且還可對發(fā)展中的真空計進(jìn)行性能的研究。
所謂“真空計校準”就是對相對真空計進(jìn)行“刻度”。真空計刻度是在一定條件下對一定種類(lèi)氣體進(jìn)行的，從而得到校準系數或刻度曲線(xiàn)。因此氣體種類(lèi)的改變或工作條件的變化，原校準曲線(xiàn)就不能使用，必須重新進(jìn)行校準。同一臺測量?jì)x器，更換規管時(shí)校準曲線(xiàn)也會(huì )發(fā)生變化。由此觀(guān)之，對相對真空計校準是非常必要的，又要定期進(jìn)行，否則會(huì )產(chǎn)生超過(guò)允許的測量誤差。
校準是對真空計整體而言，既包括所謂的一次儀表的真空規管，又包括所謂的二次儀表的電子線(xiàn)路。通常是二者合在一起進(jìn)行校準，也可以分別對真空計規管和電子線(xiàn)路進(jìn)行校準，而后者是較為理想的。
真空計校準的前提是必須有標準真空計和校準系統，并通過(guò)一定方法進(jìn)行。
真空標準有絕對真空計、標準相對真空計(或副標準真空計)和絕對校準系統。所有絕對真空計均可作為真空標準。而以絕對真空計為基準，將經(jīng)過(guò)壓力衰減后精確計算出的再生低壓力作為標準的真空計校準系統稱(chēng)為絕對校準系統。
如膨脹法校準系統應用靜力熱平衡，其理論基礎為理想氣體的玻意耳定律，把U型管壓力計校準下限延伸至高真空(10-4Pa)。穩定性和精度高的真空計，經(jīng)過(guò)校準之后，可作為次級標準，對工作真空計進(jìn)行校準，稱(chēng)這種真空計為副標準真空計。
在計量學(xué)中，所謂標準是按精度等級排列的一個(gè)體系。國家技術(shù)監督局批準并于1990年5月1日實(shí)施“真空計量器具檢定系統"(JJG2022—89)。根據當前真空技術(shù)發(fā)展水平，真空獲得和真空測量范圍，已從大氣壓(105Pa)至極高真空(< lO-10Pa)。但工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中，實(shí)際廣泛應用的壓力范圍為10-8～105Pa。
為了保證該范圍內真空度量值的準確一致，制定了檢定系統，進(jìn)行真空度量值傳遞，檢定各級真空計時(shí)器具。該檢定系統主要適用于lO-8～lO5Pa范圍內，計量、科研和工業(yè)部門(mén)使用的真空標準裝置和真空計的檢定。
圖28：真空計量器具檢定框圖
圖28示出真空計量器具檢定框圖。
