動(dòng)態(tài)流導法校準真空計的方法
動(dòng)態(tài)流導法有時(shí)也稱(chēng)為動(dòng)態(tài)流量法和小孔法校準，它是建立在氣流連續性原理、分子流狀態(tài)和等溫條件基礎上的，由于是動(dòng)態(tài)校準，吸氣和放氣的影響很小。在分子流狀態(tài)下，流導公為結構幾何尺寸的函數，與壓力無(wú)關(guān)。其校準下限隨真空獲得和小流量測量水平而延伸。是目前超高真空和極高真空的切實(shí)可行的校準方法。
動(dòng)態(tài)流導法校準原理是根據氣體分子運動(dòng)論原理，利用薄壁小孔作標準流導產(chǎn)生已知低壓力的。
圖30：動(dòng)態(tài)流導法校準真空計的方法
圖30是這種校準方法原理示意圖。首先將校準室壓力抽至校準壓力下限以下2～3個(gè)數量級，這樣計算校準壓力時(shí)可忽略本底的影響。校準氣體以穩定流量pG通過(guò)針閥K，由進(jìn)氣管注入校準室。氣體以分子流流經(jīng)一薄壁小孔并由真空系統抽除。在達到動(dòng)態(tài)平衡時(shí)，在小孔上方的校準室建立起已知的低壓力p，用它來(lái)校準真空計G。校準室的壓力可由式29計算。
由于系統的有效抽速比小孔流導大很多，故使得小孔下游的壓力戶(hù)。遠小于校準室壓力p，這樣小孔下游壓力測量值誤差對校準壓力的影響很小。因此，只要根據校準氣體流量qG、小孔流導C和小孔下游壓力pb，就可以計算出校準室壓力來(lái)。
校準氣體的流量qG由流量計測量。流量范圍為10-7～10-3Pam3s-1，其測量精度可達士O.5%，壓力校準范圍是10-5～lO-1Pa。
由于很難測定微小的流量，也就直接限制了校準壓力下限。采用分流的辦法，能擴展壓力校準下限，這就是二級動(dòng)態(tài)流導校準法。
