四極質(zhì)譜計在高、低壓力下靈敏度的關(guān)系研究
四極質(zhì)譜計是一種分壓力測量?jì)x器，被廣泛應用于各個(gè)領(lǐng)域的分壓力測量。通常用離子流與靈敏度的比值計算氣體分壓力的大小，靈敏度在低壓力下校準獲得，其值為常數。但在高壓力下靈敏度不再為常數，用以上方法計算得到分壓力值與實(shí)際分壓力值偏差很大，而真空鍍膜、半導體加工等行業(yè)恰恰需要用四極質(zhì)譜計在較高壓力下測量氣體的分壓力值，來(lái)確保各種氣體成分的比例。為此，作者對四極質(zhì)譜計的靈敏度進(jìn)行研究，通過(guò)理論分析和實(shí)驗研究得出了高壓力下靈敏度與低壓力下靈敏度的關(guān)系，從而達到用四極質(zhì)譜計在高壓力下準確測量分壓力的目的。
理論分析
四極質(zhì)譜計的原理與電離規相似，都是將氣體分子電離，并通過(guò)離子流的大小指示氣體壓力值。不同的是四極質(zhì)譜計具有分離離子的功能，通過(guò)四極桿將不同質(zhì)荷比的離子分離，只有特定質(zhì)荷比的離子才能到達收集極，一般通過(guò)某種氣體的離子流與靈敏度的比值計算氣體分壓力的大小，靈敏度通過(guò)離子流與標準壓力的比值校準獲得。作者將四極質(zhì)譜計檢測到的特定氣體主峰離子流值與特定氣體的分壓力值之比作為靈敏度。在實(shí)際計算中離子流和分壓力都是扣除本底之后的數值，如式⑴所示
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式中S 為靈敏度，單位為A/Pa； IR為到達收集極離子流，單位為A； 為氣體分壓力，PP單位為Pa；I0為本底離子流；P0為本底氣體壓力。
對⑴式進(jìn)行變換，可得分壓力的計算公式
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由式⑵可知，如果靈敏度為常數，可以方便地獲得氣體分壓力的大小。在低壓力下四極質(zhì)譜計的離子流與氣體壓力呈線(xiàn)性關(guān)系；當壓力高于10－3Pa時(shí)，離子流與氣體壓力為非線(xiàn)性關(guān)系，不能用式⑵準確計算氣體分壓力的大小。作者用線(xiàn)性靈敏度S0表示低壓力下的靈敏度，用S表示整個(gè)測量范圍內的靈敏度。
質(zhì)譜計在高壓力下出現非線(xiàn)性的主要原因，是離子與氣體分子或離子間的碰撞及離子間電荷的斥力使部分離子偏離既定軌道，不能到達收集極，造成離子損失，使離子流與氣體分壓力偏離線(xiàn)性。下面將從理論上進(jìn)行推導，得出高壓力下分壓力與離子流的關(guān)系，從而提高質(zhì)譜計高壓力下測量的準確性。
四極質(zhì)譜計離子源中離子流的大小與氣體分壓力呈正比關(guān)系，如式⑶所示
IF=KF·PP （3）
式中 IF為離子源產(chǎn)生的離子流；KF為比例系數；PP為氣體的分壓力大小。
由于離子的損失與氣體壓力和離子流有關(guān)，則從離子源飛行到收集極的過(guò)程中，離子流的損失用式⑷來(lái)表示
dl=KL·P·I·dl （4）
式中dl為離子所經(jīng)過(guò)的微小距離；dI為dl距離內損失的離子流；KL為損失常數；I 為運動(dòng)距離為L(cháng)時(shí)的離子流大��； P為質(zhì)譜計中氣體全壓力的大小。
對式⑷進(jìn)行變換得如下積分公式
（5）
式中IR為到達收集極的離子流；IF為離子源中形成的離子流；L為離子源到收集極的距離。
對式⑸求解得
（6）
聯(lián)立式⑵、⑹得靈敏度與全壓力的線(xiàn)性關(guān)系
In(S)=KL·P·L+In(KF) (7)
令KL•L為常數b,當 趨向于0時(shí)，KF的值等于線(xiàn)性靈敏度S0的值，這樣可以在低壓力下校準獲得KF的值。變換式⑺可得靈敏度S與線(xiàn)性靈敏度S0的關(guān)系
S=S0·еbp （8）
通過(guò)式⑻，如果已知S0和b值，可以得到高壓力下四極質(zhì)譜計靈敏度S的值；在低壓力下，еbp 的值約等于1，說(shuō)明該公式也適用與低壓力下氣體分壓力的測量。聯(lián)合式⑵、式⑻，得到高壓力下計算氣體分壓力的關(guān)系式
（9）
現在討論確定b的方法。將式⑻變換可得以下公式
（10）
b的校準一般用單一氣體，因此，上式中P與PP同值，只要在低壓力下通過(guò)校準獲得線(xiàn)性靈敏度S0，用一支全壓力規測量P值，將四極質(zhì)譜計所測氣體的離子流IR代入式⑽，就可以得出b值。
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