皮拉尼(Pirani)真空規的修理

       皮拉尼真空規是電鏡中的一個(gè)重要部件。真空系統真空狀態(tài)的檢測及抽真空程序的自動(dòng)控制都要靠它提供的各檢測點(diǎn)的訊息來(lái)實(shí)現。它如損壞勢必影響儀器的正常運轉。我室飛利浦EM400裝了英國產(chǎn)Edwards公司的PRCT10-P型皮拉尼規。它是一個(gè)金屬的開(kāi)口管，與玻璃制品結構不同，國內沒(méi)有生產(chǎn)，亦很難買(mǎi)到，無(wú)處修理。其價(jià)格亦較貴。我們將它打開(kāi)后，發(fā)現它很容易修復，修復后的皮拉尼規已使用半年多，性能很好。

       它利用電熱絲的電阻溫度特性和溫度隨壓強變化關(guān)系，將壓強變換為電阻測量。如圖3-9所示。用電橋測出待測電阻。圖中Rx 為電阻式規管，接入待測真空系統。R為與Rx結構相同的補償管，用來(lái)抵消環(huán)境溫度的影響。Ro用于調節零點(diǎn)，即調電橋平衡。

圖3-9 電阻式真空規