真空規吸放氣特性測試研究

真空規吸放氣特性測試研究

盛學(xué)民 馮 焱 董 猛 成永軍 趙 瀾 張瑞芳

(蘭州空間技術(shù)物理研究所國防科技工業(yè)真空一級計量站 蘭州 730000)

　　摘要：利用真空材料放氣率測試裝置對各類(lèi)真空規的吸放氣特性進(jìn)行了實(shí)驗測試研究，主要內容包括：真空規吸放氣特性測試的實(shí)驗原理及方法、實(shí)驗過(guò)程和結果分析等。

　　在真空材料放氣率測試裝置上運用定容法、小孔流導法和雙通道氣路轉換法對冷規、分離規、電容薄膜規和磁懸浮轉子規等真空測量元件的吸放氣特性進(jìn)行實(shí)驗研究。

　　測試時(shí)系統經(jīng)過(guò)高溫烘烤，以減小系統本底放氣對真空規吸放氣測試帶來(lái)的影響;通過(guò)組合使用連接在測試系統上的真空規，測量系統的壓力變化，來(lái)研究真空規的吸放氣特性;利用真空規傳感器和管道閥門(mén)的開(kāi)關(guān)等不同狀態(tài)下放氣量的差異性來(lái)測量研究各真空規的吸放氣量。

　　研究結果可對真空計量標準的使用和性能研究提供借鑒和參考。