電阻真空計（皮拉尼真空計）的結構

　　電阻真空計也稱(chēng)皮拉尼(Pirani)真空計，它是憑借熱絲電阻的變化反映壓力的。它主要由規管和測量線(xiàn)路兩部分組成，其測量范圍為10⁴～10^-1 Pa。

　　電阻式規管的結構如圖4-3所示，在規管殼內封裝一個(gè)用電阻溫度系數高的電阻絲繞制的圓柱螺旋形熱絲，熱絲兩端用引線(xiàn)引出規管，接測量線(xiàn)路。規管殼可用金屬或玻璃制成，金屬外殼具有耐用、拆卸熱絲方便等優(yōu)點(diǎn)，缺點(diǎn)是密封性能較差，價(jià)格高；玻璃外殼具有密封性能好、價(jià)格低等優(yōu)點(diǎn)，缺點(diǎn)是易損壞。

圖4-3 電阻式規管的結構

　　繞制熱絲的一些電阻絲的電阻溫度系數和電阻率，如表4-1所示，其中常用的有鎢、鉑和鎳三種。為了保證熱絲的工作穩定性，除對熱絲表面進(jìn)行清潔處理外，有時(shí)還在熱絲表面敷一層薄玻璃、石英或銣等，以避免熱絲在高壓力下使用時(shí)被氧化或玷污，但真空技術(shù)網(wǎng)(http://likelearn.cn/)認為這會(huì )使其熱慣性增大。

表4-1 一些金屬的電阻溫度系數和電阻率