分壓力校準與應用研究系統的發(fā)展歷史
20 世紀90 年代以來(lái),我國清華大學(xué)和蘭州物理研究所相繼開(kāi)展了分壓力質(zhì)譜計校準技術(shù)研究。為了滿(mǎn)足四極質(zhì)譜計定量分析的需求,清華大學(xué)1993 年研制了一臺四極質(zhì)譜計校準與應用研究系統。為實(shí)現在各種應用條件下的分析應用,采用了四種進(jìn)樣方法,即超高真空條件下直接進(jìn)樣、10 - 2～102 Pa 壓力范圍內的分子流動(dòng)態(tài)進(jìn)樣、高壓力下直到大氣壓的毛細管進(jìn)樣以及微量氣體分析時(shí)的靜態(tài)或準靜態(tài)進(jìn)樣。
1999 年,蘭州物理研究所研制了一臺具有三路相同的獨立進(jìn)氣系統的分壓力質(zhì)譜計校準裝置 。標準分壓力通過(guò)經(jīng)校準的磁懸浮轉子規(SRG) 以2 種不同的方法進(jìn)行測量。在第一種方法中,校準室中的分壓力直接由接在校準室上的SRG測量;在第二種方法中,校準室中的分壓力利用校準室上游每一路進(jìn)氣系統上所接的SRG的讀數進(jìn)行計算。2 種方法可實(shí)現10 - 1~10 - 7 Pa 范圍內的混合氣體校準,不確定度小于4. 2 %。
2001 年,蘭州物理研究所還研制了一臺標樣氣體進(jìn)樣系統。該系統可在較高壓力下配置特定的標樣氣體,然后將標樣氣體靜態(tài)膨脹到一個(gè)大容器中使壓力衰減,再通過(guò)分子流小孔將標樣氣體引入到校準室中,校準室由分子泵抽氣機組通過(guò)一分子流小孔連續抽氣,則校準室中氣體成分的比例與最初在較高壓力下配置的標樣氣體成分比例相同。這些系統的建立,將會(huì )促進(jìn)我國分壓力質(zhì)譜計校準技術(shù)的研究。
