日本國家工業(yè)科學(xué)技術(shù)研究院(AIST)的分壓力測量系統

　　日本AIST 在上個(gè)世紀末研制出的分壓力測量系統，其工作原理如圖6 所示。用電容薄膜真空計和石英晶體振蕩黏滯真空計作為參考標準，采用電容薄膜規只能測量全壓力，而石英規的測量結果與氣體的全壓力和氣體成分相關(guān)的特點(diǎn)，實(shí)現了兩種混合氣體分壓力的測量。

圖6 日本建立的分壓力測量系統原理圖

　　1.臭氧生成器　2,6,12.質(zhì)量流控制器　3,5,13.超高真空角閥　4,14.混合點(diǎn)　7.氧氣A　8.臭氧氣體流　9.電容薄膜壓力計　10.石英規　11.氧氣B 　15.氣體混合裝置　16.臭氧氣體分析器　17.臭氧分解裝置　18.排氣裝置

　　石英真空計是利用石英晶體振蕩器的阻抗與壓力的依賴(lài)關(guān)系而制造成的黏滯真空計，因為石英晶體振蕩器對溫度非常敏感，就使得實(shí)際的真空計的壓力測量下限僅為1Pa，所以建立的校準系統只能在正壓和低真空范圍內工作，其分壓力測量范圍是10² ～ 10⁶ Pa。一般質(zhì)譜計的真空度在10 ^{- 2} Pa 以下，所以系統無(wú)法用于質(zhì)譜計的校準。系統的工作氣體是氧氣和臭氧，由于系統分析單元的特定性，只能對氧氣和臭氧的混合氣體進(jìn)行分壓力的測量，所以此系統只能用于特定環(huán)境下的分壓力測量，使用范圍比較小。