氣體流量隨壓電陶瓷閥偏置電壓變化的溫度特性

2013-05-27 劉洪金皇明太陽(yáng)能股份有限公司鍍膜研發(fā)中心

　　圖4 給出了壓電陶瓷閥工作環(huán)境溫度分別為25 ℃和40 ℃時(shí), N2 輸出流量Q 與偏置電壓Vo 的關(guān)系曲線(xiàn)。由圖4 可見(jiàn), 不同環(huán)境溫度下, 隨著(zhù)Vo 先增加再減少, N 2 輸出流量Q 均呈現遲滯特性, 但遲滯特性受環(huán)境溫度影響, 體現為兩條遲滯曲線(xiàn)不重合。

　　壓電陶瓷閥環(huán)境溫度為25 ℃ 時(shí), 遲滯特性更明顯。環(huán)境溫度25 􀀁 時(shí), 壓電閥閾值電壓為56 V, 小于40 ℃時(shí)的67 V; 飽和電壓為99 V, 大于40 ℃時(shí)的84 V; 有效工作電壓范圍43 V, 大于40 ℃ 時(shí)的17 V; 另外, 工作范圍內Vo 上升和下降過(guò)程中, Q 的變化速率小。然而隨著(zhù)環(huán)境溫度的變化, 與控制電壓卻始終保持正比關(guān)系, 且比例系數保持不變。壓電閥N2 輸出流量Q 隨偏置電壓Vo 變化曲線(xiàn)呈現的溫度特性, 是由壓電陶瓷材料本身的溫度特性造成的。

　　壓電陶瓷材料的溫度特性包括兩個(gè)方面, 一是壓電陶瓷材料的線(xiàn)膨脹隨溫度升高而伸長(cháng); 二是壓電陶瓷材料的壓電特性產(chǎn)生的輸出位移隨溫度升高而減小。

不同環(huán)境溫度下N2 輸出流量Q 隨壓電陶瓷閥偏置電壓Vo 變化曲線(xiàn)