真空閥門(mén)的基本結構和形式

    真空閥門(mén)大致有兩種:一種是關(guān)閉后隔絕大氣和真空空間的開(kāi)關(guān)形閥門(mén),另一種是調整通氣量的流量可變閥門(mén)。后者在導入氣體之類(lèi)的設備上使用。    １.開(kāi)關(guān)氣路

    一般而言的真空閥門(mén)是指開(kāi)關(guān)氣路閥門(mén)。閥門(mén)的基本功能是在關(guān)閉時(shí)確實(shí)隔絕大氣和真空空間。

   (1)真空閥門(mén)的基本結構

(1)閥門(mén)封口部,

(2)傳動(dòng)軸,

(3)外罩封口部。

以L(fǎng)形閥門(mén)為例如圖所示。根據三個(gè)部分的構造不同,被利用在不同的真空領(lǐng)域。

   (2) 閥門(mén)的形式

    閥門(mén)大體有四種形式,即角閥,蝶閥,直通閥和閘閥。其特點(diǎn)由圖2所示。各種閥門(mén)根據應用的真空領(lǐng)域而選定

   (3) 閥門(mén)的驅動(dòng)

    閥門(mén)的驅動(dòng)有手動(dòng)和自動(dòng)兩種。自動(dòng)閥門(mén)以壓縮空氣驅動(dòng)為主,一部分小型閥門(mén)通過(guò)電磁鐵來(lái)驅動(dòng)。

    2.流量可變閥門(mén)

    流量可變閥門(mén)主要應用于控制向真空容器內氣體導入量和控制有效排氣速度。

   (1)氣體導入閥門(mén)

    圖3所示的閥門(mén),通過(guò)控制無(wú)氧銅和超硬合金接觸面的氣體導通率來(lái)控制氣體流量,信賴(lài)性高。流量可變閥門(mén)由金屬構成,可以烘烤也可以切斷氣體導入。

    這種閥門(mén)被安裝在真空腔和排氣泵之間,通過(guò)調節氣體導通率來(lái)調節排氣速度。相片1是蝶形閥門(mén),通過(guò)活塞角度的變化調節氣體導通率。