真空閥門(mén)的特性
主要是指真空閥門(mén)外殼對大氣的真空密封性,衡量真空密封性的性能主要有兩個(gè)技術(shù)指標,即真空閥門(mén)的流導和真空閥門(mén)的閥座漏氣率(簡(jiǎn)稱(chēng)漏率)。
1、真空閥門(mén)的流導在閥門(mén)打開(kāi)狀態(tài)下的氣體流動(dòng)的流導。需要指出的是,在樣本中,真空閥門(mén)的流導通常以“當量管長(cháng)度”列出,這里設管的公稱(chēng)尺寸與閥門(mén)的公稱(chēng)尺寸相同。
2、真空閥門(mén)的閥座漏氣率在關(guān)閉狀態(tài)下由閥座漏入的氣體流率。它取決于氣體種類(lèi)、壓力、溫度和閥門(mén)進(jìn)、出口的壓差。