真空閥門(mén)的作用與類(lèi)型
真空閥門(mén)主要用來(lái)切斷或連通管路氣流,以及調節氣流量的大小。
常用真空閥門(mén)的密封部有橡膠墊圈密封結構和金屬墊圈密封結構。橡膠墊圈密封結構是利用閥板與閥座壓緊橡膠墊圈,依靠橡膠的彈性變形來(lái)實(shí)現的密封。金屬墊圈密封結構是依靠軟金屬受壓產(chǎn)生塑性變形而達到密封目的。橡膠墊圈密封結構一般用于中低真空領(lǐng)域;金屬墊圈密封結構一般用于高真空和超高真空領(lǐng)域。
真空閥門(mén)的主要性能參數是導通率、漏氣率、開(kāi)關(guān)動(dòng)作的可靠性和準確性,以及閥門(mén)的開(kāi)閉時(shí)間。閥門(mén)按照驅動(dòng)形式分為手動(dòng)和自動(dòng)兩種。自動(dòng)閥門(mén)以壓縮空氣驅動(dòng)為主,一部分小型閥門(mén)通過(guò)電磁鐵來(lái)驅動(dòng)。真空系統中常用的閥門(mén)大體有4種形式,即角閥、閘板閥、微調閥、放氣閥。另外,在氣路中常用到針閥和球閥。各種真空閥門(mén)根據應用的真空領(lǐng)域和使用目的而選定。