真空閥門(mén)在真空系統中的作用及其分類(lèi)

    真空閥門(mén)在真空系統中的作用是：

真空閥門(mén)在真空系統中的作用

    (1)開(kāi)關(guān)氣路 如圖1所示，當閥1和閥4關(guān)閉，閥2打開(kāi)時(shí)，機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空，氣流流經(jīng)預真空抽氣管路；當閥2關(guān)閉，閥4打開(kāi)時(shí)，機械泵可單獨對擴散泵抽真空；當閥1和閥4同時(shí)打開(kāi)時(shí)，擴散泵和機械泵可同時(shí)工作，對容器進(jìn)行抽空，此時(shí)氣流流經(jīng)擴散泵�？梢�(jiàn)，閥門(mén)在這種操作中的作用是開(kāi)關(guān)氣路，改變氣流的流經(jīng)路線(xiàn)。

    (2)控制氣流大小，調節真空度在圖1中，調節閥1的閥蓋開(kāi)啟角度，即可調節流經(jīng)管路的氣流量大��；關(guān)閉閥2和閥4，通過(guò)放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣；通過(guò)放氣閥5可以調節容器內的真空度。

    (3)定量充氣如圖2所示，在玻璃閥的柱塞上有個(gè)一定體積的小洞，當小洞轉向右邊和高壓氣瓶連通時(shí)，小洞中就可充滿(mǎn)高壓氣體；當它轉向左邊和真空容器連通時(shí)，就把該體積的高壓氣體放進(jìn)容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。

    真空閥門(mén)的種類(lèi)繁多，通常按閥門(mén)的職能、結構型式、驅動(dòng)方式、材料和用途進(jìn)行分類(lèi)，其分類(lèi)見(jiàn)表1。

    真空閥門(mén)的型號編制方法國家專(zhuān)業(yè)標準作了規定，可查閱有關(guān)標準。