常見(jiàn)的幾種中真空抽氣機組型式

       中真空機組的工作壓力范圍約在100～0.1Pa之間,其常用的主泵有油增壓泵、機械增壓泵(羅茨泵)等,機組適用于需要大抽速和獲得低、高真空的各種真空系統中�？蓮V泛用于鍍膜機、真空冶煉、真空熱處理、化工、醫藥、電工、焊接等行業(yè)。

羅茨泵—油封機械泵機組

      圖6 是以羅茨泵為主泵,油封機械泵為前級泵的中真空獲得設備,整套機組可安置在一個(gè)機架上,結構緊湊,使用方便。

      可選擇ZJ型普通羅茨真空泵作為機組的主泵,也可選用帶旁通壓差閥的羅茨泵,前者須在系統被前級泵抽到羅茨泵允許的起動(dòng)壓力時(shí)才能起動(dòng)主泵工作。后者由于羅茨泵帶旁通壓差閥,所以羅茨泵可在較高的入口壓力時(shí)運轉而不發(fā)生過(guò)載和過(guò)熱現象 因此主泵可以在前級泵工作后,根據系統的實(shí)際情況來(lái)決定它的起動(dòng)壓力。對于小型機組,還可以?xún)杀猛瑫r(shí)起動(dòng),以加大抽速和縮短抽氣時(shí)間。

a)通過(guò)羅茨泵腔預抽的機組(b)帶旁通預抽管路的機組

圖6羅茨泵加油封機械泵機組

羅茨泵—水環(huán)泵機組

       圖7 為ZJ型羅茨泵加上水環(huán)泵機組,它適合抽除含有大量水蒸氣的氣體,如真空濃縮、真空干燥,特別適宜于弱酸氣體及含有少量細微粉塵氣體的抽除。

(a)通過(guò)羅茨泵腔預抽的機組(b)帶旁通預抽管路的機組

圖7 羅茨泵加水環(huán)泵機組

雙羅茨泵為主泵的中真空機組

      為了提高真空機組的抽氣性能,達到較低的極限壓力和改善在低入口壓力時(shí)的抽速特性及對大型真空機組配用較小規格的前級泵,可以組成由二個(gè)ZJ型羅茨泵串聯(lián)作為主泵的三級抽氣機組,如圖8、圖9 所示。

圖8 兩級羅茨泵加油封機械泵機組

圖9 雙級羅茨泵加水環(huán)泵機組

       圖10為兩級ZJ型羅茨泵和一級水環(huán)泵(極限壓力P0=6700Pa)及氣鎮式油封機械泵聯(lián)合組成的真空機組,其極限壓力可達10-2Pa。當需要大量抽除水蒸汽時(shí),關(guān)閉閥門(mén)8,用水環(huán)泵做粗抽泵和前級泵,當水蒸汽分壓達到300~1300 Pa后,關(guān)閉閥5,打開(kāi)閥8,用氣鎮式機械泵做前級泵。

1. 冷凝器 2.ZJ600羅茨泵 3.ZJ150羅茨泵 4.粗抽泵 5.前級閥1 6.ZSK3水環(huán)泵 7.2H70滑閥泵 8.前級閥2

圖10 雙級羅茨泵加水環(huán)泵及油封機械泵復合機組