羅茨泵機組有無(wú)旁通閥時(shí)的操作順序

2008-11-14 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

  1)羅茨泵機組中無(wú)旁通閥時(shí),應先開(kāi)動(dòng)水環(huán)泵,被抽系統中的氣體由羅茨泵(氣體推動(dòng)羅茨泵轉子自行轉動(dòng),如同流量計一般)進(jìn)入水環(huán)泵后再排至大氣,待水環(huán)泵的吸入壓力(如串聯(lián)有大氣泵,則為大氣泵的吸入壓力)達到羅茨泵的起初規定值時(shí)(即允許排氣壓力),始啟動(dòng)羅茨泵,機組正式運轉,開(kāi)始工作。

羅茨泵機組有旁通閥

2)羅茨泵機組中有旁通閥時(shí),如圖5所示,先啟動(dòng)水環(huán)泵,接著(zhù)開(kāi)動(dòng)羅茨泵,此時(shí),羅茨泵進(jìn)排氣壓差較大,旁通閥自動(dòng)開(kāi)啟,被抽容器中的氣體一部分經(jīng)過(guò)旁通閥進(jìn)入水環(huán)泵,另一部分在羅茨泵的作用下通過(guò)該泵也進(jìn)入水環(huán)泵,顯然抽氣速率增加,這樣很快達到羅茨泵的預真空,進(jìn)排氣壓差較小,閥門(mén)自動(dòng)關(guān)閉(或人工關(guān)閉),機組正式工作。這種方法能大大縮短預抽時(shí)間,但設備較復雜。