材料放氣率測量方法評述

2011-02-22 張滌新蘭州物理研究所

　　材料放氣率被用于評價(jià)真空材料性能，隨著(zhù)理論研究的深入和實(shí)踐經(jīng)驗的積累，對材料放氣率測試方法有了更具體和更深刻的認識。本文介紹了瑞士、德國、日本、印度以及國內材料放氣率測試技術(shù)的發(fā)展，并對各裝置的結構特點(diǎn)和性能指標進(jìn)行了評述。

　　材料在真空條件下會(huì )因解析而放氣，材料放氣率成為選用真空材料的重要參數。測量放氣率一般有兩種常用的方法：一種是定容法，將被測材料的試樣放置在密閉的已知容積的真空容器中，測量試樣放氣引起的壓力上升速率，根據定容室內的容積和壓力上升率計算材料放氣率。另一種是小孔流導法，將被測試材料的試樣放置于真空容器中，用已知流導小孔抽氣，通過(guò)測量動(dòng)態(tài)平衡壓力，根據在分子流導下小孔的流導和小孔兩邊的壓力差計算出材料放氣率。

　　早期的材料放氣率測量裝置一般是玻璃系統，擴散泵作為主抽泵，其油蒸汽返流影響較大；閥門(mén)是油脂閥門(mén)、液體合金閥門(mén)和球閥等，其放氣率大，只能測量放氣率較大的真空材料。上世紀80年代材料放氣率測量裝置逐漸采用不銹鋼材料制做，選用分子泵抽氣、采用全金屬閥門(mén)和金屬密封技術(shù)，采用了不同的測試技術(shù)，延伸了材料放氣率的測量下限，提高了材料放氣率的測量精度。

　　本文介紹了國內外典型的材料放氣率測量裝置的結構特點(diǎn)和達到的性能指標，并對材料放氣率的測量方法進(jìn)行了評述。

1、材料放氣率測試技術(shù)的起步階段

　　http://likelearn.cn/engineering/022349.html

2、材料放氣率測試技術(shù)的發(fā)展時(shí)期

　　http://likelearn.cn/engineering/022350.html

3、國內材料放氣率測試技術(shù)的發(fā)展

　　http://likelearn.cn/engineering/022351.html

4、結束語(yǔ)

　　通過(guò)回顧國內外材料放氣率測量技術(shù)的發(fā)展歷史，可概括如下：

　�。�1）在設計結構上，從傳統的上下室結構發(fā)展到對稱(chēng)的結構，便于扣除真空規和測試室產(chǎn)生的本底，有利于減小測量不確定度；

　�。�2）測量?jì)x器由B- A 規發(fā)展到精度較高的分離規，采用雙真空規測量材料放氣率發(fā)展到單真空規測量材料放氣率，便于消除真空規物理效應帶來(lái)的影響；

　�。�3）真空設備材料由玻璃材料發(fā)展到316 L 不銹鋼材料，并經(jīng)過(guò)特殊的除氣工藝，有很低的放氣率，延伸了測量下限；