JB/T 4081-1991 濺射離子泵 型式與基本參數

標準編號:  JB/T 4081-1991
中文標準名稱(chēng):  濺射離子泵 型式與基本參數
代替標準號:  JB4081-85,
標準簡(jiǎn)介:
JB/T 4081-1991 濺射離子泵 型式與基本參數規定了普通型式的濺射離子泵的型式與基本參數。本標準適用于二電位的二極型和三極型濺射離子泵。
中國標準分類(lèi)號:  J78

標準關(guān)注次數:  39次
標準上傳日期:  2010-1-9
發(fā)布日期:  91-07-22
實(shí)施日期:  92-07-01
標準類(lèi)別:  機械行業(yè)標準
標準頁(yè)數:  
歸口單位:  沈陽(yáng)真空技術(shù)所
起草人:  馮玉國
起草單位:  機械電子工業(yè)部沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所
文件格式:  PDF格式

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