JB/T 4082-1991 濺射離子泵 技術(shù)條件
標準編號: JB/T 4082-1991
中文標準名稱(chēng): 濺射離子泵 技術(shù)條件
代替標準號: JB4082-85,
標準簡(jiǎn)介:
JB/T 4082-1991 濺射離子泵 技術(shù)條件規定了普通型式濺射離子泵的技術(shù)要求、檢驗規則、試驗方法、包裝、貯存等。本標準適用于JB/T 4081所規定的二極型(L型)和三極型(3L型)的濺射離子泵(以下簡(jiǎn)稱(chēng)泵)。
中國標準分類(lèi)號: J78
標準關(guān)注次數: 32次
標準上傳日期: 2010-1-4
發(fā)布日期: 91-07-22
實(shí)施日期: 92-07-01
標準類(lèi)別: 機械行業(yè)標準
標準頁(yè)數:
歸口單位: 沈陽(yáng)真空技術(shù)所
起草人: 馮玉國
起草單位: 機械電子工業(yè)部沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所
文件格式: PDF格式
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JB/T 4082-1991 濺射離子泵 技術(shù)條件