JB/T 2965-1992 濺射離子泵 性能測試方法

標準編號:  JB/T 2965-1992
中文標準名稱(chēng):  濺射離子泵 性能測試方法
代替標準號:  JB 2965-81,
標準簡(jiǎn)介:
JB/T 2965-1992 濺射離子泵 性能測試方法規定了濺射離子泵性能測試方法。 本標準適用于抽速大于10LS(-1)的離子泵。
中國標準分類(lèi)號:  機械>>通用機械與設備>>j78真空技術(shù)與設備
標準狀態(tài):  現行
標準關(guān)注次數:  35次
標準上傳日期:  2010-9-18
發(fā)布日期:  1992-01-01
實(shí)施日期:  1992-01-01
標準類(lèi)別:  機械行業(yè)標準
標準頁(yè)數:  6 頁(yè)
歸口單位:  沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所
文件格式:  PDF格式

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　　JB/T 2965-1992 濺射離子泵 性能測試方法