濺射離子泵抽氣系統的操作工藝及操作注意事項

　　下圖為典型的小型濺射離子泵無(wú)油超高真空抽氣系統。

1.濺射離子泵　2.鈦升華泵　3.高真空閥　4.真空室　5.粗抽閥　6.分子篩吸附泵　7.管道閥

圖 典型小型濺射離子泵超高真空系統

　　系統的操作工藝如下：?jiǎn)��?dòng)（冷卻）吸附泵；如果粗抽是用兩級分子篩吸附泵，則先冷卻啟動(dòng)第一級吸附泵，同時(shí)給鈦升華泵通冷卻水。用第一級泵將系統粗抽到1000 Pa 左右，然后快速關(guān)閉將第一級吸附泵與粗抽管路隔斷，再用第二級泵將系統抽到0.4 到0.2 Pa。如果采用三級吸附泵粗抽時(shí)，則可用第一級泵抽到3000 到5000 Pa的壓力，用第二級泵抽到15 Pa 壓力，第三級泵抽到0.1 Pa。分級抽氣可捕集在粘滯流狀態(tài)下進(jìn)入第一級中的惰性氣體，同時(shí)也可減少最后一級抽除的氣體量。這兩者的效果都是降低系統的極限壓力。

　　如果系統中有鈦升華泵，則在真空室壓力約為0.5 Pa 時(shí)就可以啟動(dòng)升華泵，開(kāi)始連續升華，打開(kāi)高真空閥門(mén)對真空室抽氣，當真空室壓力達到0.1～0.05 Pa 時(shí)便可啟動(dòng)濺射離子泵，然后關(guān)閉粗抽閥門(mén)，將粗抽管道與系統隔開(kāi)。當系統壓力低于10^-5 Pa 時(shí)，則可讓鈦升華泵間斷工作，隨著(zhù)系統壓力的下降，蒸鈦的間隔時(shí)間可以一次比一次加長(cháng)�？墒褂枚〞r(shí)電路來(lái)控制鈦升華時(shí)間和升華的間隔時(shí)間。

　　如果在系統運行前，濺射離子泵曾暴露過(guò)大氣，則系統的操作順序是先冷卻吸附泵，并接通鈦升華泵的冷卻水，同時(shí)打開(kāi)高真空閥和粗抽閥，按前面介紹過(guò)的順序，用吸附泵和鈦升華泵對系統進(jìn)行粗抽。當接通濺射離子泵電源時(shí)，由于泵內電極的出氣，系統的壓力將會(huì )升高，所以此時(shí)仍需用吸附泵和鈦升華泵進(jìn)行抽氣，直到把放出的氣體負荷抽完為止。當系統壓力穩定在0.1 Pa 左右時(shí)，即可關(guān)閉粗抽管路閥門(mén)，進(jìn)而按正常方式連續工作。

　　離子泵系統停機前，先將高真空閥關(guān)閉，再把離子泵電源關(guān)掉，整個(gè)系統可保持在真空狀態(tài)下，直到下次再用。

操作注意事項

　�。�1） 濺射離子泵應在低于10^-4 Pa 的壓力下穩態(tài)運轉。

　�。�2） 不要在系統壓力高于10^-1 Pa 時(shí)啟動(dòng)濺射離子泵。

　�。�3）不要讓離子泵在較高壓力下抽除大量氦氣。

　�。�4）真空室放大氣時(shí)，應用閥門(mén)將濺射離子泵隔斷。

　�。�5）應按正確順序操作吸附泵。