真空技術(shù)網(wǎng) - 專(zhuān)業(yè)研究真空、真空技術(shù)及真空泵等真空設備的真空網(wǎng)。

推薦磁控濺射鐵磁性靶材的主要方法

由于磁控濺射鐵磁性靶材的難點(diǎn)是靶材表面的磁場(chǎng)達不到正常磁控濺射時(shí)要求的磁場(chǎng)強度，因此解決的思路是增加鐵磁性靶材表面剩磁的強度。

  • PET纖維基AZO透明導電薄膜濺射工藝參數的優(yōu)化

    室溫下,結合正交實(shí)驗表,用射頻磁控濺射在滌綸(PET)非織造布基材上生長(cháng)AZO(Al2O3:ZnO)納米結構薄膜。采用四探針測量?jì)x測試AZO薄膜的方塊電阻,用原子力顯微鏡(AFM)分析薄膜微結構;通過(guò)正交分析法對實(shí)驗L9(33)AZO薄膜的

  • 負偏壓對磁控濺射氧化鋁薄膜的影響

    適當的負偏壓影響磁控濺射Al2O3薄膜的性能，有利于獲得高阻隔性的包裝材料。

  • ITO薄膜的磁控濺射關(guān)鍵工藝參數的優(yōu)化

    通過(guò)磁控濺射陶瓷靶制備ITO 薄膜的工藝實(shí)驗,研究了基底溫度、濺射電壓、氧含量等主要工藝參數對該薄膜光電性能的影響。實(shí)驗結果表明:當基底加熱溫度為295 ℃、濺射電壓為250V、氧分壓占鍍膜室總壓力的8 %即主要工藝

  • JB/T 8945-1999 真空濺射鍍膜設備

    JB/T8945—1999真空濺射鍍膜設備標準適用于壓力在1×10-4~5×10-3Pa范圍的真空賤射鍍膜設備，規定了真空濺射鍍膜設備的型號和基本參數，技術(shù)要求，試驗方法，檢驗規則，標志、包裝、運輸和貯存等。

  • 脈沖磁控濺射的工作原理和工作方式

    脈沖磁控濺射是采用矩形波電壓的脈沖電源代替傳統直流電源進(jìn)行磁控濺射沉積。脈沖可分為雙向脈沖和單向脈沖。

  • 反應磁控濺射的工作原理和遲滯現象的解決方法

    反應磁控濺射技術(shù)是沉積化合物薄膜的主要方式之一。沉積多元成分的化合物薄膜，可以在濺射純金屬或合金靶材時(shí)，通入一定的反應氣體，如氧氣、氮氣，反應沉積化合物薄膜，這就稱(chēng)這反應磁控濺射。

  • 非平衡磁控濺射的結構和運用

    非平衡磁控濺射系統有兩種結構，一種是其芯部磁場(chǎng)強度比外環(huán)高，磁力線(xiàn)沒(méi)有閉合。另一種是外環(huán)磁場(chǎng)強度高于芯部磁場(chǎng)強度，磁力線(xiàn)沒(méi)有完全形成閉合回路。

  • 平衡磁控濺射的概念和優(yōu)缺點(diǎn)

    平衡磁控濺射即傳統的磁控濺射，是在陰極靶材背后放置芯部與外環(huán)磁場(chǎng)強度相等或相近的永磁體或電磁線(xiàn)圈，在靶材表面形成與電場(chǎng)方向垂直的磁場(chǎng)。

  • 反應濺射技術(shù)制備碳化釩薄膜的實(shí)驗

    采用在A(yíng)r2C2H2混合氣體中的射頻反應磁控濺射技術(shù)可以方便地合成碳化釩薄膜。但是,碳化釩薄膜的化學(xué)成分、相組成、微結構以及相應的力學(xué)性能對C2H2 分壓非常敏感。

  • 濺射功率對ZAO薄膜沉積速率的影響

    ZAO薄膜的沉積速率隨濺射功率的增大幾乎成線(xiàn)性增長(cháng)。

  • 直流反應磁控濺射ZnO:Al薄膜的制備與膜厚的測量

    直流反應磁控濺射法制備ZAO薄膜具有低的沉積溫度,高的沉積速率,薄膜厚度可控性好,合金靶易于制作等優(yōu)點(diǎn)。但是這種工藝的穩定性不易控制。

  • 直流濺射并結合熱處理工藝制備氧化鎳薄膜

    采用直流濺射并結合熱處理工藝在400～500℃退火溫度下制備了表面光滑、結構致密、無(wú)微孔和裂縫的納米晶NiO 薄膜.

  • 反應濺射AlN 薄膜的動(dòng)態(tài)特性

    反應磁控濺射方法制備AlN薄膜是一種很普遍的方法,為了增強對該過(guò)程的理解,建立了反應濺射過(guò)程的動(dòng)態(tài)模型.應用該模型分析了當氮流量增加或減少時(shí),過(guò)程中的各個(gè)參數隨時(shí)間變化的瞬態(tài)行為.

  • 磁控濺射靶磁場(chǎng)結構優(yōu)化后實(shí)際刻蝕效果與實(shí)驗

    磁控濺射是現代最重要的鍍膜方法之一, 具有簡(jiǎn)單, 控制工藝參數精確和成膜質(zhì)量好等特點(diǎn)。然而也有靶材利用率低、成膜速率低和離化率低等缺點(diǎn)。研究表明磁場(chǎng)結構對上述問(wèn)題有重要影響, 本文介紹了一種磁控濺射靶磁路優(yōu)

  • 磁控濺射靶的磁場(chǎng)的優(yōu)化設計

    采用的是磁路疊加原理來(lái)改進(jìn)磁控濺射靶的磁場(chǎng)，最后形成的水平磁場(chǎng)是接近于矩形波的雙峰形式。這樣靶面的磁力線(xiàn)和磁場(chǎng)強度的水平分量更加平滑, 能夠有效地增加靶面跑道的寬度, 實(shí)現靶面均勻刻蝕。

  • 磁控濺射靶的磁場(chǎng)排布分析

    在平面磁控濺射靶中, 磁鋼放置于靶材的后面, 穿過(guò)靶材表面的磁力線(xiàn)在靶材表面形成磁場(chǎng)。其中平行于靶面的磁場(chǎng)B 和垂直靶表面的電場(chǎng)E,形成平行于靶面的漂移場(chǎng)E×B。

  • 濺射鋁膜的結構與表面形態(tài)分析

    X射線(xiàn)衍射圖譜表明, 磁控濺射沉積的Al膜為多晶狀態(tài)。用掃描電子顯微鏡對薄膜進(jìn)行表面形貌的觀(guān)察, 濺射氣壓為0.4Pa, 濺射功率為2600W時(shí)制備的Al膜較均勻致密。

  • 直流磁控濺射的工藝參數對鋁膜沉積速率的影響

    Al膜的沉積速率隨著(zhù)濺射功率的增大先幾乎呈線(xiàn)性增大而后緩慢增大; 隨著(zhù)濺射氣壓的增大, 沉積速率不斷增大, 在0.4 Pa 時(shí)達到最大值后, 沉積速率隨濺射氣壓的繼續增大而減小。

  • 直流磁控濺射法在玻璃基片上制備鋁薄膜的工藝研究

    采用直流磁控濺射方法, 以高純Al為靶材, 高純Ar為濺射氣體, 在玻璃襯底上成功地制備了鋁薄膜。

  • 磁控濺射法鍍制紅外低輻射膜的光熱性能

    本文對薄膜的節能原理、制備方法、膜層結構及其光學(xué)、熱學(xué)性能進(jìn)行了綜述, 較詳細地論述了目前低輻射薄膜研究中較為突出的金屬銀氧化和介質(zhì)層增透的問(wèn)題。

国产福利在线观看_欧美肥老太牲交视频_亚洲毛片无码不卡AV在线播放_乱偷互换人妻中文字幕