熱電偶真空計

    熱電偶真空計和Pirani真空計一樣,熱電偶真空計也是利用氣體分子的熱傳導現象,因為價(jià)格低廉,被廣泛應用到中真空領(lǐng)域。

    真空測定的要素部分如圖所示。熱電偶接在白金或鎢的細線(xiàn)上。這段細線(xiàn)通過(guò)電流后會(huì )發(fā)熱。發(fā)出的熱量通過(guò)周?chē)鷼怏w分子的熱傳導,或細線(xiàn)本身的固體熱傳導,或熱輻射放出。利用氣體分子承擔的熱傳導量與壓力成正比的特點(diǎn)是此真空計的原理。

如果保持細線(xiàn)的發(fā)熱量即保持一定的電流,則周?chē)鷫毫Ω叩臅r(shí)候氣體奪走的熱量較多,致使細線(xiàn)的溫度較低。反過(guò)來(lái)周?chē)鷫毫Φ偷臅r(shí)候細線(xiàn)的溫度會(huì )升高。這種溫度的變化通過(guò)熱電偶檢測出來(lái),將熱電偶的起電力換成壓力之后即可知真空腔內的壓力。

  熱電偶真空計的 特征

    利用氣體分子的熱傳導現象,可能測量的壓力范圍在1~300Pa之間。熱電偶真空計測得細線(xiàn)溫度同時(shí),也受到細線(xiàn)本身的固體熱傳導和熱輻射放熱的影響。因此精度不高。但是電路簡(jiǎn)單,價(jià)格低廉。

    另外此真空計在大氣壓狀態(tài)下也不會(huì )燒損。而且測得的壓力值通過(guò)電信號被取出,因此在自動(dòng)控制方面容易控制。