幾種典型的高真空系統圖

2008-10-13 鬼馬 真空技術(shù)網(wǎng)整理

    這種系統應用也比較廣泛。它的工作壓強范圍在6.67×10-2～1.33×10-3Pa。如鍍膜機、電子轟擊爐和部分電阻爐等都采用高真空系統。

    ①擴散泵串聯(lián)機械泵的真空系統。該系統一般用在工作時(shí)放氣量較小的應用設備上。系統結構簡(jiǎn)單，工作可靠。成本低。缺點(diǎn)是系統起動(dòng)慢，預抽氣時(shí)間長(cháng)。擴散泵油蒸氣容易返流到真空室中去。

    ②擴散泵串聯(lián)油增壓泵，再串聯(lián)機械泵的真空系統，該系統起動(dòng)慢。由于有中間油增壓泵存在，故預抽氣時(shí)間短些。

    ③擴散泵串聯(lián)羅茨泵，再串聯(lián)機械泵的真空系統，它起動(dòng)慢，但預抽氣時(shí)間短(因為中間有羅茨泵)。圖16是由三個(gè)泵串聯(lián)組成的高真空系統。

采用擴散泵的三個(gè)泵串聯(lián)的高真空系統圖

圖16：采用擴散泵的三個(gè)泵串聯(lián)的高真空系統圖