超高真空比對校準系統的指標測試與模擬校準
超高真空系統極限真空度的測試
動(dòng)態(tài)法超高真空比對校準系統裝置開(kāi)機工作正常后，首先對校準裝置進(jìn)行烘烤除氣，從室溫開(kāi)始加熱，以30 ℃/h 升溫，10 h 后超高真空系統的烘烤溫度升為300 ℃；打開(kāi)NEG 泵角閥，激活NEG 泵（激活溫度為500 ℃，激活時(shí)間2 h），然后關(guān)閉NEG 泵角閥。在300 ℃的溫度下維持8 h 后，以30 ℃/h 的速率降溫，10 h 后降到室溫；打開(kāi)NEG 泵角閥對校準容器抽氣，校準裝置的真空度穩定后測得極限真空度為4.9×10-9 Pa。
超高真空系統校準范圍的測試
用超高真空微調閥（15）調節穩壓室中的壓力，注入到校準室中，每個(gè)量程選擇3個(gè)校準點(diǎn)，觀(guān)測微調閥是否能夠調出所要求校準范圍的壓力點(diǎn)。壓力點(diǎn)的讀數采用經(jīng)校準過(guò)的IE514 型分離規，數據見(jiàn)表1。
表1 校準范圍調節讀數表
從數據可以看出，能夠滿(mǎn)足校準范圍的調節，超高真空微調閥的行程和均勻性都非常好，可在校準范圍內調節所需的任一壓力校準點(diǎn)。
合成標準不確定度的評定
參考規選用IE514 型分離規，經(jīng)超高/極高真空校準裝置校準的合成標準不確定度為2.5%。本底引入的不確定度為1.8%，統計不確定度為0.54%，則合成標準不確定度為3.2%，擴展不確定度9.6%（k=3）。
模擬校準
在動(dòng)態(tài)法超高真空比對校準系統上，用分離規作參考標準對超高熱陰極電離真空計進(jìn)行比對模擬校準，主要驗證微調閥的行程和穩定性，以及是否能夠滿(mǎn)足實(shí)際的超高真空規的校準。具體在每個(gè)量程按3 個(gè)校準點(diǎn)進(jìn)行校準，共校準3 個(gè)量程9 個(gè)點(diǎn)，完全能夠覆蓋該裝置的校準范圍，校準數據見(jiàn)表2。
表2 模擬校準數據
超高真空相對比對校準裝置，可以用于超高真空規的動(dòng)態(tài)直接比對校準，結束過(guò)去用線(xiàn)性外推法進(jìn)行超高真空規的校準，能夠確保國防科技工業(yè)在超高真空區域真空量值的傳遞和統一。
相關(guān)文章擴展閱讀：
