用于真空光導入的玻璃觀(guān)察窗
2014-09-02 郭方準 實(shí)用真空技術(shù)
能使光通過(guò)且能封閉真空的器件是真空窗口。真空系統中使用最多的是觀(guān)察窗，用來(lái)監視真空腔體內部的狀態(tài)或光源傳輸。觀(guān)察窗和鉛玻璃結合使用的情況下，不僅可以做觀(guān)察用，還可以遮擋X射線(xiàn)。用在真空系統上的觀(guān)察窗要承受約1kgf/cm2的壓強，所以要充分考慮其強度，以免當面積較大時(shí)，發(fā)生玻璃破損的事故。真空觀(guān)察窗的耐烘烤溫度在300℃以?xún)�，不可劇烈升溫，最好控制�?～3℃/min。
通常用于超高真空設備的光導入材料有硬質(zhì)玻璃、藍寶石、石英等。這些材料對于光的透過(guò)率如圖1所示。特別是要保證紫外線(xiàn)的透過(guò)，而且要檢測真空內發(fā)出光的情況下，主要使用藍寶石觀(guān)察窗。
不同窗口材料可透過(guò)光的波長(cháng)范圍可參照附圖1。
圖1 不同材料真空觀(guān)察窗對不同波長(cháng)光的透過(guò)率
各種觀(guān)察窗基本都是采用前面介紹的永久密封方式制作，也有采用橡膠圈密封的可拆卸方式。采用橡膠圈密封的觀(guān)察窗，一般用在低真空或高真空腔體上。超高真空系統的進(jìn)樣室快開(kāi)門(mén)上，也經(jīng)常使用橡膠圈密封的觀(guān)察窗(圖2)。
圖2 觀(guān)察窗
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