滑閥式真空泵的結構原理圖及工作原理
滑閥式油封機械泵(簡(jiǎn)稱(chēng)滑閥式真空泵或滑閥泵)同旋片泵一樣，也是一種變容式氣體傳輸泵�；y式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結構不同�；y式真空泵是利用滑閥機構來(lái)改變吸氣腔容積的，故稱(chēng)滑閥泵。
滑閥泵由于其結構特點(diǎn)，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空設備上�；y泵有單級滑閥泵和雙級滑閥泵兩種型式。單級泵的極限真空度對小泵≤0.6Pa，對大泵≤1.3Pa(均關(guān)氣鎮)，雙級泵的極限真空度≤0.06Pa(關(guān)氣鎮)。抽速大于150L/s的滑閥泵多采用單級型式。這種泵可單獨使用，也可作其它泵的前級泵用。
滑閥泵的結構主要由泵體及在其內部作偏心轉動(dòng)的滑閥、半圓形的滑閥導軌、排氣閥、軸等組成(見(jiàn)圖1)。
滑閥式真空泵的結構原理圖
泵體中裝有滑閥環(huán)(4)，滑閥環(huán)內裝有偏心輪(3)，偏心輪固定在軸(2)上，軸與泵體中心線(xiàn)相重合。在滑閥環(huán)上裝有長(cháng)方形的滑閥桿(5)，它能在半圓形滑閥導軌(7)中上下滑動(dòng)及左右擺動(dòng)，因此泵腔被滑閥環(huán)和滑閥桿分隔成A、B兩室。泵在運轉過(guò)程中，由于A(yíng)、B兩室容積周期性地改變，使被抽氣體不斷進(jìn)入逐漸增大容積的吸氣腔;同時(shí)，在排氣腔隨著(zhù)其容積的縮小而使氣體受壓縮，并通過(guò)排氣閥排出泵外。
滑閥式真空泵的工作原理
雙級型的滑閥泵，實(shí)際上是由兩個(gè)單級泵串聯(lián)起來(lái)的。它的高、低真空室在同一泵體上，有的是直接鑄成一個(gè)整體，有的是壓入中隔板把泵腔分成高、低兩室。
由于滑閥泵的旋轉質(zhì)量有較大的偏心，如果滑很好的質(zhì)量平衡，在運轉時(shí)會(huì )產(chǎn)生較大的振動(dòng)。但泵旋轉質(zhì)心的運動(dòng)軌跡是形狀復雜的封閉曲線(xiàn)，因此很難實(shí)現對滑閥泵慣性力的完全平衡。做好滑閥的質(zhì)量平衡，減少泵的振動(dòng)一直是滑閥泵需要解決的一個(gè)重要課題。
