無(wú)油渦旋真空泵的結構

   無(wú)油渦旋真空泵主要部件為渦旋盤(pán)付\曲軸和密封墊.該泵的抽氣——壓縮——排氣機理是在動(dòng)、靜渦旋盤(pán)相互不接觸的情況下，依靠動(dòng)、靜渦旋盤(pán)相對轉動(dòng)形成吸氣腔和壓縮腔，將被抽氣體排出，連續完成吸氣、壓縮和排氣過(guò)程。在充分考慮抽氣過(guò)程中發(fā)生熱交換的情況下，盡量減少動(dòng)、靜渦盤(pán)問(wèn)的徑向和軸向間隙,可以提高抽速和極限真空度。

    針對無(wú)油渦旋真空泵結構上存在著(zhù)的運轉過(guò)程中水分和雜質(zhì)易積聚和軸承易磨損的弱點(diǎn),加氣鎮閥是必要的選擇。

    結構上的改進(jìn)主要有兩點(diǎn)：

    ①．加氣鎮閥使極限真空度保持要求值——進(jìn)氣壓力O.03MPa(G)以下，流量lOL/min以下。

    ②．軸承端面加雙側密封圈密封，有效防止軸承磨損。

    在無(wú)油渦旋真空泵的設計過(guò)程中，需要解決的問(wèn)題包括：

    ①．渦旋泵的CAD設計一一型線(xiàn)方程的確定及修正，初始角修正，運動(dòng)模擬；

    ②．渦旋盤(pán)的加工一一加工精度、加工工藝間隙的大�。撼樗�、極限真空度；

    ③．渦旋盤(pán)的表面處理一一耐腐蝕、潤滑、硬度、處理工藝、表面均勻性；

    ④．密封墊材料的選擇與加工——密封墊要求有彈性、耐磨、不產(chǎn)生微粒。