機械真空泵按其工作原理及結構特點(diǎn)的主要分類(lèi)
真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設備。隨著(zhù)真空應用的發(fā)展，真空泵的種類(lèi)已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數百萬(wàn)升。極限壓力(極限真空)從粗真空到10-12 Pa以上的超高真空范圍。
由于真空應用部門(mén)所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類(lèi)型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類(lèi)型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機組型式應用。
凡是利用機械運動(dòng)(轉動(dòng)或滑動(dòng))以獲得真空的泵，稱(chēng)為機械真空泵。機械真空泵按其工作原理及結構特點(diǎn)分述如下：
1、變容真空泵
它是利用泵腔容積的周期變化來(lái)完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。這種泵分為往復式及旋轉式兩種。
(1)往復式真空泵
利用泵腔內活塞往復運動(dòng)，將氣體吸入、壓縮并排出。又稱(chēng)為活塞式真空泵。
(2)旋轉式真空泵
利用泵腔內轉子部件的旋轉運動(dòng)將氣體吸入、壓縮并排出。它大致有如下幾種分類(lèi)：
1)油封式真空泵：它是利用真空泵油密封泵內各運動(dòng)部件之間的間隙，減少泵內有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線(xiàn)真空泵等。
2)液環(huán)真空泵：將帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內。當它旋轉時(shí)，把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個(gè)小的旋轉變容吸排氣腔。工作液體通常為水或油，所以亦稱(chēng)為水環(huán)式真空泵或油環(huán)式真空泵。
3)干式真空泵：它是一種泵內不用油類(lèi)(或液體)密封的變容真空泵。由于干式真空泵泵腔內不需要工作液體，因此，適用于半導體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、制藥工業(yè)及食品行業(yè)等需要無(wú)油清潔真空環(huán)境的工藝場(chǎng)合。
4)羅茨真空泵：泵內裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子。轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。
2、動(dòng)量傳輸泵
它依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。這類(lèi)泵可分為以下幾種形式：
(1)分子真空泵
它是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為：
1)牽引分子泵氣體分子與高速運動(dòng)的轉子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅送到泵的出口。
2)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
3)復合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復合型的分子真空泵。
機械真空泵是真空應用領(lǐng)域中使用得最普遍的一類(lèi)泵，它是真空獲得設備的重要組成部分。
機械真空泵的分類(lèi)及主要性能參量
機械真空泵按其工作原理及結構特點(diǎn)的主要分類(lèi)
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