羅茨真空泵的工作原理
羅茨真空泵(簡(jiǎn)稱(chēng)羅茨泵)是一種旋轉式變容真空泵。它是由羅茨鼓風(fēng)機演變而來(lái)的。根據羅茨真空泵工作范圍的不同,又分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵(又稱(chēng)機械增壓泵)和高真空多級羅茨泵。
羅茨泵的特點(diǎn)
1、在較寬的壓強范圍內有較大的抽速;
2、啟動(dòng)快,能立即工作;
3、對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感;
4、轉子不必潤滑,泵腔內無(wú)油;
5、振動(dòng)小,轉子動(dòng)平衡條件較好,沒(méi)有排氣閥;
6、驅動(dòng)功率小,機械摩擦損失;
7、結構緊湊,占地面積;
8、運轉維護費用低。
因此,羅茨泵在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業(yè)部門(mén)得到廣泛的應用。
在泵腔內,有二個(gè)“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動(dòng)比為1的一對齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉運動(dòng)。在轉子之間,轉子與泵殼內壁之間,保持有一定的間隙,可以實(shí)現高轉速運行。由于羅茨泵是一種無(wú)內壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用。
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似。由于轉子的不斷旋轉,被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內,再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。 但當轉子頂部轉過(guò)排氣口邊緣,v0空間與排氣側相通時(shí),由于排氣側氣體壓強較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動(dòng)時(shí),氣體排出泵外。
羅茨泵轉子由0°轉到180°的抽氣過(guò)程。在0°位置時(shí),下轉子從泵入口封入v0體積的氣體。當轉到45°位置時(shí), 該腔與排氣口相通。由于排氣側壓強較高,引起一部分氣體返沖過(guò)來(lái)。當轉到90°位置時(shí),下轉子封入的氣體,連同返沖的氣體一起排向泵外。這時(shí),上轉子也從泵入口封入v0體積的氣體。當轉子繼續轉到135°時(shí),上轉子封入的氣體與排氣口相通,重復上述過(guò)程。180°位置和0°位置是一樣的。
轉子主軸旋轉一周共排出四個(gè)v0體積的氣體。
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