擋油帽的作用與主要參數計算
擴散泵在工作過(guò)程中，泵液會(huì )向被抽容器中返流。返流的油蒸氣會(huì )對被抽容器及被處理工件造成污染。返流油蒸氣從凝結于擴散泵頂噴咀表面上的油膜的再蒸發(fā)為主要來(lái)源。在噴咀內表面上的泵油能浸潤外表面達數毫米，因此這部分油膜會(huì )大量蒸發(fā)，返流向高真空側。通常在泵芯的一級噴咀上面設置擋油帽，這樣可以大大降低油蒸氣的返流。擋油帽一般用水冷卻，比較好的水冷擋油帽可把擴散泵的返油率降低到0.1％～1％。因此擋油帽是現代擴散泵所必備的部件。
擴散泵加擋油帽后，降低了返油率，但同時(shí)也降低了泵的抽速。通常認為加擋油帽后，泵的抽速降低小于20％為宜。
擋油帽的設計方法如圖31所示：先劃出導流管和噴咀外沿的連結線(xiàn)AB，再在距B為1cm左右處引垂線(xiàn)CD，延長(cháng)AB與CD交于E點(diǎn)，此即擋油帽的外緣。這樣確定擋油帽外緣的位置則不會(huì )擋住工作液蒸氣射流。
圖31：擋油帽的設計方法
擋油帽伸出長(cháng)度H(見(jiàn)圖32)可由下式計算：
H=(d2-d1-2δ)/2 tga mm (10)
式中d1為泵的噴咀直徑，mm；d2為擋油帽帽緣外徑，mm；δ為擋油帽帽緣厚度，mm；a為泵的噴咀角度。
圖32：擋油帽伸出長(cháng)度H
圖33是擋油帽的一種經(jīng)驗設計，實(shí)踐表明，這種擋油帽的擋油效果較好，且對泵的抽速沒(méi)有太大的影響。
圖33：擋油帽的經(jīng)驗設計
圖34：各種擋油帽的擋油效果圖
各種型式擋油帽的擋油效果如圖34所示，圖中(n)是不加擋油帽，設此時(shí)返油量為1；(6)、(c)、(d)、(e)等表示加擋油帽及水冷套等措施后的返油量，數值愈小，擋油效果愈好。
