真空漏孔的校準方法——變容變壓法

　　美國Martin Marietta Energy System公司避開(kāi)定容變壓法和恒壓變容法的技術(shù)難點(diǎn)，采用變容變壓的方法，對10^-1～10^-12mol/s范圍內的真空漏孔進(jìn)行測量，自稱(chēng)測量誤差為±5%。

　　圖4示出變容變壓法結構示意圖，圖5給出它的測量過(guò)程中的壓力變化曲線(xiàn)圖。測量前，校準室(V和V_u,)抽真空;開(kāi)始測量時(shí)，關(guān)閉閥門(mén)Y1和Y2;在t₁時(shí)刻，V_u內壓力上升至P₁，可由式(6)得到。關(guān)閉閥門(mén)Y3，打開(kāi)閥門(mén)Y2;如果等待V_u內壓力再次恢復至P1(t₃時(shí)刻)，則為增加固定體積的恒壓變容法。在此，可以在t₂時(shí)刻就測量Vu內壓力P₂的值，可由式(7)得到。真空漏孔的漏率由式(6),(7)聯(lián)立，可以得到式(8)

Q_L =p₁V_u/(RT t₁)  (6)

Q_L =P₂(V_u+V)/(R T _t2) (7)

Q_L =P₁P₂V/[RT(p₁t₂-P₂t₁)]  (8)

　　這是不很精確的，卻是效率較高的實(shí)用方法。用它校準真空漏孔時(shí)，不必準確測量較難測量的Vu，也不必等待較長(cháng)的時(shí)間，但是式(6)和式(7)都是在無(wú)吸、放氣作用的理想條件下得到的，故實(shí)際應用時(shí)對吸放氣的影響需要認真研究解決。

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