半導體工業(yè)真空泵油的再造利用方案
全氟聚醚油(PFPE)分子鏈飽和，不含氫元素，化學(xué)性能特別穩定，抗強氧化劑，與氧相容，不可燃，耐強酸、強堿等化學(xué)物質(zhì)，高溫性能穩定，并具有極低的蒸發(fā)速率和良好的潤滑性能。不僅安全， 且使用壽命長(cháng)。
半導體工業(yè)在芯片加工過(guò)程中必須使用一些特殊的氣體與某些具有毒性的強氧化劑，因而要求在工藝加工過(guò)程中廣泛使用的真空泵具有非常優(yōu)越的適應性，PFPE因其優(yōu)異性能而得到廣泛使用。尤其在消除火災或爆炸的危險隱患等方面更是性能卓越。
全世界對環(huán)境保護的要求越來(lái)越高。如何處理在真空泵的維修和使用過(guò)程中所產(chǎn)生的廢油是擺在所有公司面前的一大難題。傳統的處理方式是將回收的廢油送至當地廢油處理廠(chǎng)焚燒。但PFPE是無(wú)法燃燒的。也就是說(shuō)，簡(jiǎn)單處理使用過(guò)的PFPE油會(huì )造成永久的環(huán)境污染。
杜邦公司全氟聚醚廢油再造利用的所有環(huán)節和生產(chǎn)程序，都是建立在杜邦公司作為原始PFPE真空泵油制造商的技能和經(jīng)驗基礎之上。所有再造工作均在美國新澤西州的Deepwater制造工廠(chǎng)完成�；诙嗄甑膶�(zhuān)業(yè)經(jīng)驗，杜邦公司PFPE真空泵油的再造生產(chǎn)過(guò)程，包括中和，過(guò)濾，脫氣，精餾，氟化再造以及精制等步驟，其中氟化再造是關(guān)鍵性的步驟，并輔以完善的分析測試手段包括氣相色譜，紅外色譜，原子吸收光譜等方法來(lái)實(shí)時(shí)跟蹤，分析并監控有關(guān)酸度，粘度，蒸氣壓等關(guān)鍵性的指標，以確保再造生產(chǎn)的PFPE再造油性能指標與新生產(chǎn)的PFP油完全一致，并且保證在實(shí)際操作過(guò)程中性能完全等同，工藝工程的最優(yōu)化及完全閉式循環(huán)等的特點(diǎn), 使得再造收率達95～98%。
杜邦公司是一家能夠做到上述高效、高質(zhì)，再造利用PFPE油的唯一制造商。
除此以外，上述再造工程中，所有過(guò)濾，精制等程序所產(chǎn)生的廢棄物均嚴格按照美國相應的法規來(lái)處理，并嚴格按照相關(guān)的程序，以利于環(huán)境保護。再造利用方案，對于客戶(hù)有如下顯著(zhù)優(yōu)點(diǎn)：
（1）為客戶(hù)收集廢油無(wú)償提供包裝桶；
（2）節省了處置廢油的費用和時(shí)間；
（3）由于再生油的重新使用，節省了操作運行成本費用；
（4）由于廢油的安全和合法處置，實(shí)現了環(huán)保目的；
（5）確保再生利用的油達到原產(chǎn)品的標準；
（6）杜邦公司將在整個(gè)操作過(guò)程中提供技術(shù)支持。
鑒于此，國外幾乎所有的真空泵制造商和半導體芯片制造廠(chǎng)均采納此方案。收集所有用過(guò)的PFPE油，得到當地杜邦公司和其經(jīng)銷(xiāo)商的支持和服務(wù)。再生利用，實(shí)現環(huán)保，并降低成本。
中國半導體工業(yè)發(fā)展迅速，環(huán)保要求不斷提高。半導體業(yè)廢油處理的環(huán)保問(wèn)題已引起芯片制造廠(chǎng)及相關(guān)者的高度重視。目前，杜邦中國公司及其授權的經(jīng)銷(xiāo)商已在中國成功地建立了此項目的完善服務(wù)體系。一方面，把收集的PFPE廢油100% 送至美國杜邦公司新澤西工廠(chǎng)進(jìn)行再造利用，使中國國內相關(guān)企業(yè)同樣得此再造利用方案的六大好處；另一方面，為中國的環(huán)保事業(yè)作出貢獻。
注：本文系杜邦中國集團有限公司委托發(fā)布的產(chǎn)品軟文。具體產(chǎn)品信息請致電杜邦公司。
