電容薄膜真空計的校準注意事項

       薄膜計可分為絕對式和差壓式。把0帕定作零點(diǎn)標準的規稱(chēng)為絕對式,把任意壓力值定作零點(diǎn)標準的規稱(chēng)作差壓式。它的優(yōu)點(diǎn)主要是性能穩定,精確度高,靈敏度與氣體種類(lèi)無(wú)關(guān);結構牢固、抗振動(dòng)、壽命長(cháng);并可測蒸氣和腐蝕性氣體的壓力。缺點(diǎn)主要是預熱時(shí)間很長(cháng),可能會(huì )影響工作。

校準電容薄膜計時(shí),應注意以下五點(diǎn):

(1)傳感器調零時(shí),首先應用標準信號將控制線(xiàn)路的零點(diǎn)和滿(mǎn)度調好,將溫度補償器調到所需要的位置上,測量中不可隨意變動(dòng)。

(2)傳感器調零應在其預熱4小時(shí)后進(jìn)行,必要時(shí)可(10～24)小時(shí)的恒溫加熱,才能使電容規達到最佳零點(diǎn),也才能測得更精確。

(3)傳感器調零的位置,應比校準范圍下限低2～3個(gè)量級。如量程是1000Torr,則校準范圍是133. 3Pa～133300Pa。零點(diǎn)在真空系統抽到1. 3Pa 或0.13Pa位置左右時(shí)才能調節,其余量程以此類(lèi)推。

(4)調零以后,校準過(guò)程中環(huán)境溫度不能有驟然變化的現象發(fā)生。

(5)在校準過(guò)程中,避免傳感器過(guò)大的振動(dòng)。