磁懸浮轉子真空計的特點(diǎn)

2016-03-09 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

　　1、磁懸浮轉子真空計與壓縮式真空計同屬于標準真空計，但其量程較寬(10-1～10-5 Pa)。用它做互校傳遞標準計，累積誤差小、可靠性和重復性好。

　　2、磁懸浮轉子真空計是無(wú)源器件，其規管內部沒(méi)有高速電子和離子，沒(méi)有熱絲，不存在熱及輻射效應。

　　3、轉子規管體積小，吸氣和放氣現象完全可以忽略，不會(huì )影響被測空間的氣體成分和壓力，特別適用于不允許規管與氣相彼此作用的場(chǎng)合。

　　4、磁懸浮轉子真空計每測量一個(gè)點(diǎn)必須間隔半分鐘，所以只能用于壓力變化緩慢的真空室或密閉空間。

　　5、測量精度主要取決于轉速ω的測量精度和溫度T的恒定，因此測量時(shí)務(wù)必維持T恒定和采用較高精度的測速技術(shù)及儀表。