氙氣質(zhì)量流量計校準裝置的設計

氙氣質(zhì)量流量計校準裝置的設計

趙瀾 馮焱 成永軍 魏萬(wàn)印 張瑞芳 孫雯君

(蘭州空間技術(shù)物理研究所，甘肅 蘭州 730000)

　　摘要：設計了基于定容法的氙氣質(zhì)量流量計校準裝置，裝置由校準室系統、測量系統、供氣系統、抽氣系統及數據采集系統等五部分組成。

　　在設計時(shí)，校準室采用全金屬結構，可以整體烘烤，減小漏放氣影響;

　　采用了高精度的電容薄膜規、鉑電阻溫度計作為測量?jì)x器，保證壓力及溫度測量的準確性;

　　供氣系統中設計兩個(gè)穩壓容器，既保證測量中一定的入口壓力，又保證對系統進(jìn)行清洗和充氣的氣源;

　　抽氣系統采用分子泵和機械泵串聯(lián)抽氣，提高真空系統的本底;

　　采用計算機采集壓力、溫度及時(shí)間的數據，保證數據的可靠性。

　　裝置的預計氣體流量測量范圍(5.1×10^-4～1.0)Pa·m³/s，Xe氣對應的質(zhì)量流量測量范圍為(2.89×10^-2～5.78×10¹)mg/s，標準不確定度為1.2%。