真空系統的構成

     真空系統多種多樣,但基本構成大致相同。了解真空系統的基本構成,不僅有助于設備操作,對于自己組裝真空系統也有極大的參考性。

   最單純的例子

    圖A是最簡(jiǎn)單的例子。真空系統的壓力比周?chē)�的大氣壓�?因此必須要有一個(gè)密封的容器。這個(gè)容器被稱(chēng)為真空腔。要使真空腔內成為真空狀態(tài),必須使用排氣泵來(lái)排氣。因此真空腔和排氣泵即成為最單純的真空設備例子。

    利用轉輪泵的例子

    圖B是使用轉輪泵時(shí)真空設備的例子。為了知道真空腔內的壓力,在真空腔上安裝一個(gè)真空計(Vacuum Gauge)。為了在排氣泵停止時(shí)也能保持真空腔內的壓力,在排氣泵和真空腔之間設置一個(gè)閥門(mén)。真空腔的蓋子受內外壓力差被緊緊吸在真空腔上。因此要打開(kāi)蓋子時(shí)首先要通過(guò)放氣閥門(mén)往真空腔內導入氣體,以使內外壓力均等。同時(shí)為了防止轉輪泵的油倒流,轉輪泵停止時(shí)在吸氣口一側要開(kāi)放成大氣壓狀態(tài)。為此,在吸氣口附近也需要一個(gè)放氣閥門(mén)。

    利用分子泵(TMP)的例子

    要達到10-6Pa的真空度時(shí),設備的構成為圖C所示。分子泵TMP不能在大氣壓狀態(tài)中運行。因此要和轉輪泵結合進(jìn)行兩個(gè)階段的排氣。首先由RP 泵從大氣壓狀態(tài)到10Pa左右進(jìn)行第一階段排氣,此時(shí)的真空度有Pirani(皮喇尼)真空計確認。保持RP泵的運行狀態(tài)然后再啟動(dòng)TMP,真空泵的壓力由在真空狀態(tài)下可以使用的電離真空計來(lái)監控。