直線(xiàn)推動(dòng)驅動(dòng)器的工作原理與結構示意圖

　　直線(xiàn)推動(dòng)驅動(dòng)器主要由外筒、真空法蘭、移動(dòng)法蘭、波紋管、推動(dòng)桿、驅動(dòng)軸等組成。外筒內部的波紋管分別和真空法蘭以及移動(dòng)法蘭焊接，實(shí)現伸縮和真空密封。移動(dòng)法蘭的兩端分別與驅動(dòng)軸和推動(dòng)桿連接。操縱推動(dòng)桿，則驅動(dòng)軸可在真空中直線(xiàn)移動(dòng)。

　　真空法蘭內側設置準直部件，確保驅動(dòng)軸不會(huì )擺動(dòng)。外筒開(kāi)有長(cháng)條孔，固定在移動(dòng)法蘭外壁上的指針沿著(zhù)長(cháng)條孔移動(dòng)，達到指示驅動(dòng)軸移動(dòng)位置的目的。外筒側壁設置固定螺絲，可將推動(dòng)桿固定在任意位置。

　　直線(xiàn)推動(dòng)驅動(dòng)器中和真空接觸的部件，全部采用不銹鋼和無(wú)氧銅材料，可耐高溫烘烤，適合在超高真空系統中的使用。

　　直線(xiàn)推動(dòng)驅動(dòng)器的示意圖參照圖1。

圖1 直線(xiàn)推動(dòng)驅動(dòng)器的示意圖