真空系統設計中應該注意的問(wèn)題

    (2)機械泵(包括羅茨泵)有振動(dòng)，要防止振動(dòng)波及整個(gè)系統，通常用軟管減振。軟管有金屬和非金屬的兩種，不論采用那種軟管要保證在大氣壓力作用下不被壓癟。

    (3)真空系統建成后，應便于測量和檢漏。生產(chǎn)實(shí)際告訴我們，真空系統在工作過(guò)程中，經(jīng)常容易出現漏氣而影響生產(chǎn)。為了迅速找到漏孔，要進(jìn)行分段檢漏，因此每一個(gè)用閥門(mén)封閉的區間，至少要有一個(gè)測量點(diǎn)，以便測量和檢漏。

    (4)真空系統中配置的閥門(mén)和管道，應使系統抽氣時(shí)間短，使用方便，安全可靠。一般在有一個(gè)蒸氣流泵作為主泵(擴散泵或油增壓泵)；和一個(gè)機械泵作為前級泵的系統上，除了有前級管道(蒸氣流泵串聯(lián)機械泵的管道)外，還應有一個(gè)預真空管道(真空室直通機械泵的管道)。其次是在真空室和主泵之間設有高真空閥門(mén)(也稱(chēng)主閥)，在前級管道上設有前級管道閥(也叫低真空閥)；在預真空管道上設置預真空管道閥(稱(chēng)低真空閥)。主泵上的高真空閥門(mén)，通常不能在閥蓋下為真空狀態(tài)，而閥蓋上為大氣壓狀態(tài)下開(kāi)閥，這要通過(guò)電氣聯(lián)鎖保證安全。前級管道閥和預真空管道閥要考慮到閥本身能在大氣壓下開(kāi)閥。以蒸氣流泵為主泵的真空系統，主閥要蓋向主泵，前級管道閥也要蓋向主泵，預真空管道閥蓋向真空室。在機械泵入口管道上，應設一個(gè)放氣閥門(mén)。當機械泵停止工作時(shí)，能立即打開(kāi)此閥，使機械泵入口通入大氣，防止機械泵油返流到管路中，因此該閥要和機械泵電氣聯(lián)鎖。真空室上也要設置放氣閥門(mén)，給裝料和取料時(shí)用。該閥設置的位置要考慮到放氣時(shí)，氣體沖力較大，防止因沖力過(guò)大而破壞真空室內的薄弱構件。放氣閥的大小與真空室的體積有關(guān)，要考慮放氣時(shí)間不能太長(cháng)，影響工作。

    (5)真空系統的設計應保證排氣穩定可靠，安裝拆卸維修容易，操作方便，各元件間的連接有互換性。為了達到工作中排氣穩定，要求主泵性能穩定，各閥門(mén)運轉靈活，密封可靠，系統中各元件的接頭不漏氣，真空室密封性能好，備真空元件連接采用標準尺寸，保證有互換性。在真空系統設計中，原則上講，每一個(gè)封閉管路尺寸應有一個(gè)可調尺寸。這個(gè)可調尺寸在過(guò)去設計中，都采用軟管來(lái)解決，現在設計系統時(shí)，多數不采用軟管。而采用提高真空元件加工尺寸精度和利用連接法蘭上的密封橡膠圈來(lái)解決安裝誤差，這樣可以提高系統強度和剛度，減少用于系統上的支架，更加美觀(guān)。

    (6)真空系統設計中要采用新技術(shù)，做到自動(dòng)控制和聯(lián)鎖保護。隨著(zhù)真空技術(shù)的發(fā)展，要求在整個(gè)抽氣過(guò)程中能夠進(jìn)行自動(dòng)操作，如采用真空繼電器控制羅茨泵在1333Pa壓強下啟動(dòng)工作。采用水壓繼電器控制蒸氣流泵的水壓在某一個(gè)壓力上，當水壓不足或斷水時(shí)，能夠立即斷電并發(fā)出警報。防止泵被燒壞。對于復雜真空系統和工藝過(guò)程及參數要求嚴格的設備應采用微機程序控制，更加安全可靠。

    (7)真空系統設計中要求做到節省能源，降低成本，使用方便可靠。做到這一點(diǎn)有很大的經(jīng)濟意義，它可使所設計的真空應用設備有廣泛的市場(chǎng)銷(xiāo)路。