高真空玻璃系統的研究與改進(jìn)

高真空玻璃系統的研究與改進(jìn)

馬寅光 張滌新 劉蘇民

(蘭州空間技術(shù)物理研究所 蘭州 730000)

　　摘要：在真空技術(shù)中經(jīng)常需要設計和制造玻璃真空系統。玻璃真空系統具有其特有的優(yōu)勢，結構簡(jiǎn)單、過(guò)程直觀(guān)、改造方便、造價(jià)低廉、加工時(shí)間短。

　　在一些特定條件下是金屬系統不可取代的，例如在真空蒸餾活性堿金屬的過(guò)程中，由于強堿金屬對于金屬真空系統具有

　　腐蝕作用，導致金屬系統在堿金屬氣氛下不能長(cháng)時(shí)間工作，而玻璃系統可以緩解這種腐蝕，使得系統可以長(cháng)時(shí)間工作在堿金屬氣氛中而不會(huì )降低其真空性能。

　　本文正是基于玻璃真空系統的這種不可替代性，對典型的玻璃高真空系統進(jìn)行了研究和改進(jìn)。提出了利用小型鈦離子泵和玻璃四級擴散泵聯(lián)合抽氣的方法實(shí)現玻璃真空系統的高真空。內容主要包括玻璃真空系統的典型結構、玻璃真空系統的測量、玻璃真空系統的檢漏、改進(jìn)后玻璃真空系統的結構、性能等內容。