電輸入密封的設計要求與常用結構圖

2008-10-24 劍氣書(shū)生 真空技術(shù)網(wǎng)整理

   將電輸入到真空容器中去進(jìn)行供電,在各種真空設備上是經(jīng)常遇到的,對于金屬真空設備來(lái)說(shuō),這種引電裝置最好采用可拆卸的連接密封,這樣便于維修。從輸入的電流、電壓、頻率和輸電線(xiàn)的溫度等因素考慮,對輸電線(xiàn)本身及真空密封材料的設計要求是

    ①引線(xiàn)裝置的真空密封多采用橡膠做密封圈,因此對大電流、高溫處應采用水冷,以防止溫度過(guò)高時(shí)破壞真空橡膠圈和影響真空室的真空度。

    ②真空密封應可靠,對導電紫銅棒應當要求有較高的精度和較好的表面粗糙度,并且在裝配時(shí)應涂以真空油脂。

    ③輸電線(xiàn)的直徑應大小適當,不應使電流密度過(guò)大,以防輸電線(xiàn)過(guò)熱。

    ④由于輸電線(xiàn)上有一定的電壓,因此必須使它與連接密封處絕緣,特別是高壓輸電線(xiàn),更不能忽視。絕緣才力哦啊的選用,應根據電壓大小,溫度的影響等因素,去考慮材料的電阻率,表面電阻率,擊穿電壓等問(wèn)題。常用的絕緣材料的電阻率,表面電阻率,擊穿電壓等問(wèn)題。常用的絕緣材料有真空橡膠,玻璃,陶瓷、玻璃布板、玻璃布棒、黃蠟布,聚四氟乙烯等。

    ⑤應考慮頻率的影響。在低頻下頻率對密封的影響并不大,但是在高頻下,輸電線(xiàn)同絕緣材料應按特殊要求確定。例如,當頻率達到108Hz以上時(shí),用作輸電線(xiàn)的某些材料的電阻率可能超過(guò)允許值,如可伐合金用作高頻時(shí),由于高頻損耗,絕緣體的密封就會(huì )被加熱到不允許的程度。因此必須降低輸電線(xiàn)的電阻率或采用其他材料。

    ⑥應考慮溫度的影響。對于需要烘烤的輸電線(xiàn),應能承受500oC高溫。必須區別引線(xiàn)在烘烤時(shí),無(wú)電流時(shí)所承受的烘烤溫度及工作時(shí)發(fā)熱的兩種情況。如果輸電線(xiàn)被加熱,在結構中應避免用任何不能承受溫度的材料。    3.6.2 電輸入密封的結構

    常用的電輸入密封結構有如下幾種。

    ①接線(xiàn)柱式密封

    如圖17所示。這種結構是一般真空設備上最常采用的把電引入到真空室中去的一種結構。例如在真空鍍膜設備上即常常用這種結構對鍍膜室內的照明裝置供電。

電極引入真空室的結構

圖17:電極引入真空室的結構

一種外套水冷式電極密封結構

    圖18是一種外套水冷式電極密封結構

    ②固定式導電桿密封

    固定式導電桿密封的結構如圖19。當導電桿直徑d≤20mm時(shí)采用(a)型,d>20mm時(shí)用(b)型。

固定式導電桿的密封結構

圖19:固定式導電桿的密封結構