真空封接技術(shù)中的玻璃-金屬封接的結構形式

      真空系統中常用的玻璃-金屬封接結構,要求封接處具有氣密性、一定強度、耐烘烤和一定的電絕緣性能。常用的玻璃-金屬封接的類(lèi)型有:①匹配封接;②不匹配封接; ③過(guò)渡封接。

       匹配封接是指玻璃與金屬的線(xiàn)膨脹系數在一定溫度范圍內是相近的(差值小于10%)。不匹配封接時(shí),玻璃與金屬線(xiàn)膨脹系數差值較大(差值大于10%)。當玻璃與金屬線(xiàn)膨脹系數相差甚大時(shí)可采用線(xiàn)膨脹系數介于玻璃與金屬之間的一種或幾種玻璃來(lái)進(jìn)行過(guò)渡封接。

(a)B-A 規引線(xiàn)的圍封結構; (b) 振動(dòng)薄膜規上蓋的圍封結構; (c)可伐法蘭與玻璃的管封結構; (d) 多頭引線(xiàn)圍封結構; (e) 可伐法蘭、鉬桿與玻璃的圍封和管封結構

圖1　玻璃與金屬封接結構示例

       封接從結構上可分為圍封結構、管封結構和盤(pán)封結構。圍封結構是指封接金屬桿的四周是用玻璃包圍起來(lái)的結構,如真空規管引線(xiàn)等。見(jiàn)圖1。常用的管封結構為金屬圓管和玻璃圓管的對接結構。如可伐法蘭接頭與玻璃管的封接。見(jiàn)圖1。