軟件變形式真空動(dòng)密封的結構與優(yōu)缺點(diǎn)
非金屬軟件變形真空動(dòng)密封連接
非金屬軟件變形真空動(dòng)密封連接的主要密封物質(zhì)是真空橡膠管。由于橡膠管放氣和不能承受高溫，因此，對要求達到1.3×10-4 Pa 以下的壓強，或應進(jìn)行高溫烘烤的真空設備，限制使用這種連接。當然，如果采用耐熱硅膠，其使用溫度范圍也可以達到150℃。真空橡膠管所傳遞的運動(dòng)形式主要有兩種，即直線(xiàn)運動(dòng)和旋轉運動(dòng)。
在應用非金屬柔性元件的動(dòng)連接密封中，也可以采用橡膠薄板為密封物質(zhì)。橡膠薄板的外邊緣固定在真空容器的外壁上。內邊緣則固定在軸的突肩上。圓筒形橡膠薄板可以折疊180°，因此在利用圓筒形橡膠板時(shí)，連桿工作行程不超過(guò)隔板自由狀態(tài)部分外徑的10%。這種結構常常用在氣動(dòng)真空閥，以及低真空和中真空的閥門(mén)中。這種密封裝置雖然結構比較簡(jiǎn)單、成本低廉，但是由于非金屬軟件的材料為真空橡膠制品，它不但不能承受轉矩，也會(huì )因放氣而影響真空室內真空度的提高，更不能承受高溫的烘烤。因此不宜在超高真空動(dòng)密封中使用。
金屬軟件變形真空動(dòng)密封連接
在金屬軟件變形的真空動(dòng)密封連接中采用金屬波紋管實(shí)現向真空中傳遞直線(xiàn)運動(dòng)、擺動(dòng)和旋轉運動(dòng)是比較方便的。其特點(diǎn)是在真空中的從動(dòng)環(huán)節的位移量大、運動(dòng)速度高、傳遞的負荷范圍也較寬。
利用全金屬波紋管制成的動(dòng)密封裝置，不但結構較簡(jiǎn)單而且在結構中易實(shí)現兩種或多種形式的傳動(dòng)。此外，由于波紋管是薄壁制成的金屬管，并且富有彈性、容易彎曲、伸張和壓縮，又能經(jīng)受高溫烘烤，因此，近年來(lái)在一些真空設備上得到了一定的應用。
金屬波紋管的主要缺點(diǎn)是制造比較復雜，裝配不夠方便，而且不宜用于傳遞高速度的運動(dòng)，波紋管在使用時(shí)也應注意，首先壓縮要均勻，否則會(huì )在管子的圓周上產(chǎn)生局部應力而造成破裂。波紋管只能承受拉、壓而不能承受扭轉。這就使它的應用范圍受到了限制。
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