渦輪分子泵振動(dòng)產(chǎn)生的原因及防護措施

　　渦輪分子泵工作時(shí)振動(dòng)的產(chǎn)生及其減振措施保證分子泵工作精度的最主要問(wèn)題是盡量減少泵工作時(shí)的振動(dòng)。組成分子泵的零部件以及安放它的基礎，都可以認為是一個(gè)彈性系統。當分子泵高速運轉工作時(shí)，泵在其平衡位置作往復性機械運動(dòng)，即是分子泵的振動(dòng)。

渦輪分子泵振動(dòng)產(chǎn)生的原因

　　分子泵的振動(dòng)，主要是其振動(dòng)零部件的不平衡引起的，主要因素有：

　　1、渦輪轉子以及電動(dòng)機主軸的不平衡是產(chǎn)生振動(dòng)的主要來(lái)源。從渦輪轉子的結構看，影響其平衡的原因有：

　　a、轉子的材質(zhì)不均 ( 包括密度不均和膨脹系數的不均 ) ；

　　b、渦輪轉子的各組成零件在制造中的加工誤差，如同軸度、轉子端面的平行度、轉子體的不對稱(chēng)性等等；

　　c、轉子的裝配質(zhì)量。如渦輪轉子上下葉輪因裝配不當產(chǎn)生偏差;渦輪轉子在電動(dòng)機軸上裝得不正;或裝配時(shí)壓緊力不足，高速運轉后產(chǎn)生松動(dòng)等。

　　以上諸因素會(huì )造成渦輪轉子的質(zhì)量分布不均，形成一定的質(zhì)量偏心，當轉子轉動(dòng)時(shí)產(chǎn)生不平衡的離心力，從而使分子泵產(chǎn)生有害的振動(dòng)和噪音。

　　2、由于渦輪分子泵的轉速很高，因此防止產(chǎn)生共振也是一個(gè)重要問(wèn)題。在分子泵的設計中應正確地選用工作轉速和合理地設計電動(dòng)機的主軸。

　　3、主軸的支承條件，如軸承的精度、安裝方式、潤滑條件等對分子泵的振動(dòng)也將產(chǎn)生較大的影響。

渦輪分子泵振動(dòng)的防護措施

　　為了減少分子泵整機工作時(shí)的振動(dòng)，在泵的設計制造中應采取以下措施：

　　1、在工藝條件允許的情況下，盡可能提高零部件的加工精度。

　　2、對電動(dòng)機主軸及渦輪轉子等旋轉零部件進(jìn)行嚴格的動(dòng)平衡試驗。

　　3、為了防止產(chǎn)生共振，確保泵安全運轉，泵設計時(shí)，應使主軸的工作轉速 n 在其各階臨界轉速之外。在軸的初步設計時(shí)，應對其臨界轉速進(jìn)行驗算，至少使其與工作轉速相差 20 %左右，否則應改變軸的尺寸或剛性來(lái)達到上述要求。

　　4、對主軸軸承的外側設置橡膠減振環(huán)。橡膠減振環(huán)除了具有減振、隔音效果外，還有利于越過(guò)共振區，衰減高頻振動(dòng)和噪音的作用。

　　5、為減少分子泵的振動(dòng)向外傳遞以及減少外界振動(dòng)對分子泵的影響，在分子泵的四個(gè)支柱下裝有四個(gè)橡膠墊以起到隔振作用。