立式渦輪分子泵與臥式渦輪分子泵結構比較

2013-07-12 張以忱 東北大學(xué)

　　當前渦輪分子泵的結構有立式v與臥式渦輪分子泵之分。入口的氣流與旋轉軸平行的渦輪分子泵屬于立式的；進(jìn)入氣流垂直于旋轉軸中心的渦輪分子泵屬于臥式的。這種臥式泵，進(jìn)入氣體對稱(chēng)分為兩半，直角轉向兩側分別進(jìn)入兩側相同的轉子定子葉柵中，由兩側氣流匯集于共同的出口。這兩種形式的泵又稱(chēng)單端泵和雙端泵。這兩種泵市場(chǎng)上均有出售。

臥式渦輪分子泵

　　臥式渦輪分子泵特點(diǎn)是其轉子主軸水平布置。這種結構的分子泵是雙軸流的，吸氣口在兩組抽氣單元的中央，氣體吸入后，分別被左右兩側的葉列組合抽走。軸承分別裝在各抽氣單元的排氣側，見(jiàn)圖 1 。

臥式渦輪分子泵結構示意圖

1.動(dòng)片 2.定片 3.進(jìn)氣口 4.軸 5.軸承 6.排氣口

圖1：臥式渦輪分子泵結構示意圖

　　臥式渦輪分子泵的特點(diǎn)是抽氣時(shí)轉子受力均勻，軸承定位、受力狀態(tài)好，使用壽命長(cháng)，且軸承更換過(guò)程中，轉子位置不動(dòng)，維修方便。

立式渦輪分子泵

　　立式渦輪分子泵結構如圖 2 所示。

立式渦輪分子泵結構示意圖

圖2：立式渦輪分子泵結構示意圖

　　立式渦輪分子泵的轉子軸垂直安裝，只有一組抽氣組合葉列。轉子葉輪高速旋轉時(shí)，被抽氣體沿著(zhù)轉子組和定子組自高真空端向低真空端壓縮，被驅向前級，由前級泵抽走。泵由泵殼、渦輪葉列組件和電動(dòng)機等組成�，F代渦輪分子泵轉子和定子之間的間隙較大，通常在 lmm 左右，因此泵工作時(shí)很安全。立式泵的裝配工藝要比臥式泵簡(jiǎn)單，所以立式泵發(fā)展很快。

　　軸承潤滑方式有油脂潤滑、油繩潤滑和離心供油潤滑等方式。分子泵軸承潤滑油的性能必須具備以下三個(gè)條件，才能滿(mǎn)足泵的工作要求：a. 高速下具備良好的潤滑性能；b. 飽和蒸氣壓低于前級泵工作液的飽和蒸氣壓；c. 粘度適當，使之兼有軸承冷卻液的作用。