羅茨真空泵的分類(lèi)與優(yōu)點(diǎn)

2013-06-06 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

  羅茨真空泵是一種旋轉式容積真空泵。其結構形式是由羅茨鼓風(fēng)機演變而來(lái)的。它于1944年首先出現于德國,是為適應在 10 ~ 1000Pa 壓力范圍內具有大抽速的真空熔煉系統而作為機械增壓泵使用。

根據羅茨真空泵工作壓力范圍的不同,分為

  1、低真空羅茨泵:直排大氣的干式單級羅茨泵(10000Pa)和濕式羅茨泵(2000Pa);

  2、中真空羅茨泵:機械增壓泵(1×10-1 Pa);

  3、高真空羅茨泵:多級干式羅茨泵(高真空多級羅茨泵;

  國內用量最多的為中真空羅茨泵 (以下簡(jiǎn)稱(chēng)羅茨泵) 。

羅茨泵與其它油封式機械泵相比有以下特點(diǎn):

  1、在較寬的壓力范圍內有較大的抽速;

  2、轉子具有良好的幾何對稱(chēng)性,故振動(dòng)小,運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅動(dòng)功率,從而可實(shí)現較高轉速;

  3、泵腔內無(wú)需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統的污染;

  4、泵腔內無(wú)壓縮,無(wú)排氣閥。結構簡(jiǎn)單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;

  5、壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差;

  6、轉子表面為形狀較為復雜的曲線(xiàn)柱面,加工和檢查比較困難。

羅茨泵在真空工程領(lǐng)域中應用

  1、在中真空范圍作為機械增壓泵應用,一般與前級泵(旋片泵,滑閥泵和水環(huán)泵等)串聯(lián)構成真空機組;

  2、雙級或多級羅茨泵機組可獲得高真空;

  3、對于干式清潔無(wú)油的抽氣系統多用氣冷式羅茨泵機組;

  4、對于含水蒸氣的被抽系統,多用濕式羅茨泵;