分子泵油

2008-10-30 鬼馬 真空技術(shù)網(wǎng)整理

  分子泵是一種動(dòng)量型真空獲得設備,在分子流態(tài)下,氣體分子與高速運動(dòng)的表面發(fā)生碰撞獲得一定方向的動(dòng)量,從而使氣體分子得到逐級壓縮,最后被抽除。

     1) 分子泵有三個(gè)類(lèi)型:牽引型分子泵, 渦輪分子泵, 復合型分子泵,按制造結構分類(lèi):油潤滑、脂潤滑、磁懸浮--單磁永磁懸浮、全磁懸浮。

     2) 分子泵的特點(diǎn)

  連續抽除氣體,節省能源,可獲得清潔的真空

  油潤滑分子泵:潤滑油量小,且在前級真空段,對真空室污染小。

  脂潤滑分子泵:油脂量極小,前級配干泵可獲得近似無(wú)油的清潔真空。

  全磁懸浮分子泵:無(wú)須潤滑,與干泵一起使用,可獲得無(wú)油的清潔真空環(huán)境。

分子泵油的特性

  1.分子泵油應該具有極低的飽和蒸汽壓,使設備能迅速獲得較好的極限真空;

  2.分子泵油應該具有優(yōu)異的低溫性能,在高低溫狀態(tài)下操作性能優(yōu)良;

  3.分子泵油應該具有優(yōu)良乳化特性和油水分離性;

  4.分子泵油應該具有良好熱安定性,在長(cháng)期高溫摩擦狀態(tài)下能保持良好的使用性;

  5.分子泵油應該具有優(yōu)良的潤滑性,泵啟動(dòng)容易,能耗低,使設備減少磨損保持清潔。

分子泵油的用途

  工業(yè)工藝過(guò)程(裝飾、ITO、PVD、晶振、玻璃鍍膜,照明、真空爐排氣)科研、軍工裝備儀器、設備半導體工業(yè)。制燈,玻璃鍍膜,柔性太陽(yáng)能電池設備:在電子、電力、真空設備、低溫容器、壓力容器等領(lǐng)域都會(huì )用到分子泵和檢漏儀。

分子泵油的質(zhì)量指標

分子泵油的質(zhì)量指標

分子泵油的更換和維護

  1) 為保證分子泵軸承有良好潤滑,應定期更換分子泵油。

  分子泵潤滑油是一種低飽和蒸汽壓的專(zhuān)用潤滑油,應使用廠(chǎng)家指定的分子泵油。不得使用其他泵油替代。

  2)分子泵油更換時(shí)間

  對于油潤滑分子泵,在初次使用2000小時(shí)左右,建議更換分子泵油。以后每運轉半年時(shí)間左右進(jìn)行一次更換。

        對泵體經(jīng)常烘烤、工作氣載大、氣體中含有懸浮顆粒等使用情況下,建議縮短更換時(shí)間。

  3)分子泵油的用量

       不同泵型分子泵油用量不同,一般說(shuō)明書(shū)中會(huì )給出分子泵油用量說(shuō)明。分子泵油杯上有刻度。