影響滑閥真空泵極限真空度的因素分析
影響油閥泵極限全壓力的關(guān)鍵因素是間隙�；y泵的極限全壓力主要由極限壓力（不可凝氣體的壓力） 和飽和蒸汽壓（可凝氣體的壓力）組成�；y泵泵腔內的各運動(dòng)部件間由于存在一定的間隙，在氣體壓縮排出階段會(huì )有部分氣體因壓力超過(guò)進(jìn)氣壓力而通過(guò)間隙返流，而進(jìn)氣口端潤滑油的飽和蒸汽壓與返流無(wú)關(guān)，因此返流影響滑閥泵的極限壓力。
下面討論間隙對滑閥泵極限壓力的影響。對于單級滑閥泵，返流造成的抽速損失為：
由于滑閥泵內的氣流屬于粘滯流，所以可設：
式中S 損失—— 單級滑閥泵的抽速損失
Q 返流—— 單級滑閥泵的返流的氣體流量
P 排—— 單級滑閥泵的排氣壓力
P 進(jìn)—— 單級滑閥泵的進(jìn)氣壓力
C 間隙—— 滑閥泵各主要運動(dòng)件之間間隙的流導
滑閥泵間隙總的流導系數
滑閥泵在進(jìn)氣壓力達到極限壓力時(shí)，滑閥泵的實(shí)際抽速為零，排氣閥一直關(guān)閉，可得：
當滑閥泵達到極限壓力時(shí)，滑閥泵的實(shí)際抽速為零，即有：
式中S 理論—— 單級滑閥泵的理論抽速
P 極限—— 單級滑閥泵的理論極限壓力
P 大氣—— 大氣壓力
上式推出單級滑閥泵的理論極限壓力P 極限與間隙的關(guān)系，滑閥泵的實(shí)際極限壓力總是大于理論極限壓力P 極限，實(shí)際運行中，滑閥泵需要潤滑油潤滑和密封，潤滑油的密封效果越好，實(shí)際極限壓力與理論極限壓力越接近；潤滑油的密封效果越差，實(shí)際極限壓力與理論極限壓力相差越大，滑閥泵的理論極限壓力是實(shí)際極限壓力的基礎。同時(shí)，由于間隙的大小會(huì )影響潤滑油的密封效果，由此可以得出這樣一個(gè)結論：?jiǎn)渭壔y泵的間隙越小，則泵的理論極限壓力越低，潤滑油的密封效果好，從而使得滑閥泵的實(shí)際極限壓力低。
雙級滑閥泵是由高真空級與低真空級串聯(lián)而成，下文用高缸代表高真空級，用低缸代表低真空級。同理，對于雙級滑閥泵，返流造成的低缸的抽速損失由上文可得：
式中S 低缸理論—— 雙級滑閥泵低缸的理論抽速
P 低缸極限—— 雙級滑閥泵低缸的極限壓力
P 大氣—— 大氣壓力
K 低缸—— 雙級滑閥泵低缸間隙總的流導系數
高缸在極限壓力附近的返流為分子流狀態(tài)，則此時(shí)高缸的間隙流導與壓力無(wú)關(guān)，只與高缸間隙大小相關(guān)，所以可設此時(shí)高缸的間隙流導為C 高缸。高缸沒(méi)有排氣閥，高缸的排氣壓力始終與低缸的進(jìn)氣壓力相同，所以可得：
式中S 高缸理論—— 雙級滑閥泵高缸的理論抽速
P 極限—— 雙級滑閥泵的理論極限壓力
