某型磁懸浮渦輪分子泵的設計與分析

2013-03-26 李兵 北京中科科儀股份有限公司研發(fā)中心

某型磁懸浮渦輪分子泵的設計與分析

李兵 鄒蒙 李奇志

北京中科科儀股份有限公司研發(fā)中心 北京 100190

　　摘 要:渦輪分子泵是一種低振動(dòng)的高速旋轉機械，其渦輪等關(guān)鍵件設計的準確性直接關(guān)系到產(chǎn)品的性能和可靠性。

　　本文以某型磁懸浮渦輪分子泵部分設計的實(shí)例，分析了渦輪的主要載荷和振動(dòng)特性、渦輪分子泵在應用上的傳熱問(wèn)題，同時(shí)針對試驗過(guò)程中出現的問(wèn)題,給出了相應的解決措施和思路，為渦輪分子泵的設計提供了參考。

　　關(guān)鍵詞：磁懸浮分子泵 渦輪 有限元分析